7月30日消息 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（簡稱 “中微公司”）今日宣布推出 Prismo HiT3 MOCVD 設(shè)備，主要用于深紫外 LED 量產(chǎn)。

中微 Prismo 系列 MOCVD 設(shè)備目前已進入全球大多數(shù)領(lǐng)先的藍綠光 LED 制造商，獲悉，此次推出的 Prismo HiT3是中微 Prismo 系列 MOCVD 設(shè)備的最新產(chǎn)品。該設(shè)備是適用于高質(zhì)量氮化鋁和高鋁組分材料生長的關(guān)鍵設(shè)備，反應(yīng)腔最高溫度可達 1400 度，具有優(yōu)異的工藝重復(fù)性、均勻性和低缺陷率。該設(shè)備同時也為高產(chǎn)量而設(shè)計，單爐可生長 18 片 2 英寸外延晶片，并可延伸到生長 4 英寸晶片。

中微公司 Prismo HiT3 MOCVD 設(shè)備早期的客戶包括國內(nèi)領(lǐng)先的深紫外 LED 制造商馬鞍山杰生半導(dǎo)體有限公司，該公司的深紫外 LED 在家用、醫(yī)療和科研設(shè)備等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。

深紫外光幾十年前就被應(yīng)用于工業(yè)和民用消毒殺菌領(lǐng)域。它通過破壞細菌和病毒的 DNA 使其喪失繁殖能力來發(fā)揮作用。深紫外 LED 被用于不同波長的殺菌燈中，且與傳統(tǒng)的汞燈相比對環(huán)境無污染。類似 SARS、MERS 和新冠病毒的出現(xiàn)使得深紫外 LED 產(chǎn)品的需求激增，深紫外 LED 產(chǎn)品可以消滅這些新生微生物。波長 260-280nm 的 UVC 波段的深紫外光就是目前該領(lǐng)域最先進的技術(shù)解決方案（例如杰生半導(dǎo)體的深紫外 LED 產(chǎn)品）。

中微公司設(shè)計的 Prismo HiT3 MOCVD 設(shè)備具有新穎腔體設(shè)計，能在高溫環(huán)境下生長高質(zhì)量氮化鋁工藝，并具有業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的深紫外 LED 高產(chǎn)出率；同時具備較長的平均免開腔維護間隔時間，進一步延長正常運行時間并提高產(chǎn)能。真空自動化傳輸系統(tǒng)可以抑制顆粒物的產(chǎn)生，并減少缺陷。自動化升降機構(gòu)可方便維護操作并有效節(jié)省維護時間。

中微公司表示，“中微自主研發(fā)的 Prismo HiT3 MOCVD 設(shè)備延續(xù)了我們現(xiàn)有 Prismo 平臺已驗證的主要創(chuàng)新功能，并提升了可在高溫工藝環(huán)境下生長氮化鋁基材料的性能，使之拓展到深紫外 LED 的應(yīng)用。”