近日，Micro O LED、 OLED照明量產所使用的欣奕華G2蒸鍍設備樣機宣布完成進一步調試工作，年內推向市場后，將填補小尺寸OLED蒸鍍設備的國產化市場的空白。 蒸鍍設備國產化市場空白嚴重 據悉，OLED制造工藝主要包括蒸鍍法和噴墨式印刷法。目前蒸鍍法比較成熟，已經大規(guī)模商用；相比之下，噴墨法雖在理論上更為經濟、高效，但其技術仍不成熟，暫時無法快速實現(xiàn)商業(yè)化量產。OLED又可以分為剛性OLED與柔性OLED，其差異主要是在基底材蒸鍍技術制造OLED面板的核心設備是蒸鍍機，而這個設備在面板制造企業(yè)的上游，主要供應商是佳能旗下一間名為Canon Tokki的企業(yè)。盡管全球 O LED市場需求暴增，Tokki公司也在不斷投入開發(fā)產能，但是仍然難以滿足客戶的需要，其一年的蒸鍍機產能也就區(qū)區(qū)幾臺而已。即使強如LG Display這樣的大客戶，也因為蒸鍍機數(shù)量不足而錯失蘋果大規(guī)模訂單。更何況是在0LED面板行業(yè)亦步亦趨跟隨的國內生產廠商。好在京東方、華星光電等公司憑借巨大的投資逐漸在下游環(huán)節(jié)掌握有利地位。但這些提升目前還局限于下游，在上游環(huán)節(jié)中，國內企業(yè)的存在感較弱。隨著上文提到的國產OLED蒸鍍機完成調試，國內面板行業(yè)將迎來巨大轉折。 OLED在生產工藝環(huán)節(jié)需要前、中、后三道工藝。其中，對應的三大核心工藝技術分別為LTPS驅動電路、OLED蒸鍍工藝和薄膜封裝工藝，OLED蒸鍍是制約OLED面板良率，進而成為影響產能的關鍵。賽迪智庫2019年10月整理公開數(shù)據顯示，截止2018年，OLED蒸鍍設備的主要生產商為日本佳能Tokki，市場占有率達到90％。據悉，佳能Tokki每年產能的90％均被三星包攬，OLED蒸鍍設備一機難求已成為了限制國內面板廠商擴大OLED產能的重要原因。以往，三星和LG Display的產線增建導致OLED蒸鍍設備幾乎被買斷。 欣奕華OLED蒸鍍機設備實現(xiàn)“自發(fā)光” 而隨著韓國企業(yè)OLED產線的投資滯緩，深天馬、京東方、維信諾、信利等面板廠商才陸續(xù)采購到OLED蒸鍍機，良品率逐步提升。截至2018年底，京東方成都6代線綜合良品率達到70％；2019年11月，維信諾昆山5．5代線綜合良率達90％。預計到2021年，國內面板廠商生產剛性和柔性OLED面板才能與三星良品率基本持平?？梢?，OLED蒸鍍機對行業(yè)發(fā)展的重要意義。 欣奕華智能機器事業(yè)群總經理李清生表示，“我國雖然已成為全球OLED面板生產的主產地之一，但是上游設備企業(yè)在裝備領域依然集中在中低端和非關鍵設備的生產制造階段。”而國內建設的OLED產線，蒸鍍機等核心裝備基本都依賴進口。OLED蒸發(fā)源根據宏觀形狀的不同可以粗略地分為點型蒸發(fā)源和線型蒸發(fā)源。點型蒸發(fā)源材料利用率不高，部分材料蒸鍍時容易出現(xiàn)clogging或噴濺；線型蒸發(fā)源由于在坩堝加熱及傳遞過程中不同位置的熱量和溫度存在差異，使得蒸發(fā)源不同位置的有機氣體分子的熱動能不一致，從而使不同位置的噴嘴噴出有機分子的蒸鍍速率不同，導致鍍膜的厚度均勻性差；對玻璃基板各子像素進行鍍膜時，為了鍍膜位置的精確性，在每道工序開始前還要對基板進行精密對位，這些問題導致整個OLED面板良率不足。針對這些難題，欣奕華研發(fā)團隊最終形成了完善的O LED技術研發(fā)體系，突破OLED蒸發(fā)源、OLED對位系統(tǒng)等多項關鍵核心技術。其自主研發(fā)的OLED點型和線型蒸發(fā)源，已經交由客戶驗證通過，成功導入面板龍頭企業(yè)的量產線。佳能Tokki OLED蒸鍍機精度優(yōu)異，把OLED有機發(fā)光材料精準地蒸鍍到基板上，佳能Tokki可以把誤差控制在3um之內。欣奕華的OLED蒸鍍機對位系統(tǒng)（包含G6H、G2．5、G1）的對位精度已達到國際先進水平，部分機型甚至做到了國際領先，對位精度可控制在1．5um以內。除此之外在蒸發(fā)源、真空腔體、封裝、工藝控制技術等方面，相關技術水平已達到國際先進水平，正在逐步追趕國外領先OLED設備制造企業(yè)。 機遇和發(fā)展 國內企業(yè)需加速創(chuàng)新 這些成績的取得，一方面得益于國家層面的高度重視以及對OLED產業(yè)的規(guī)范化引導，特別是《“十二五”國家戰(zhàn)略性新興產業(yè)發(fā)展規(guī)劃》中明確提出“加快推進OLED等新一代顯示技術研發(fā)和產業(yè)化”；另一方面與較早布局和戰(zhàn)略投入有直接關系。欣奕華早在2015年正式啟動了OLED蒸鍍系統(tǒng)關鍵技術研發(fā)項目，并建成了3萬平米的OLED蒸鍍機研制潔凈車間，擁有各類先進研發(fā)設備和儀器20余臺套，組建了一支國際化高端人才團隊，形成了完善的OLED技術研發(fā)體系有著莫大的關系。欣奕華自主開發(fā)了第一款國產化G1 OLED蒸鍍機（玻璃基板尺寸200＊200mm），并已通過安徽省新產品鑒定。G1 OLED蒸鍍機通過了上海某高校教育部國家重點實驗室裝備測試，于2017年交付使用。欣奕華還是國內首家開發(fā)出G2．5（玻璃尺寸370mmx470mm）Cluster蒸鍍機和12寸AR／VR（Wafer直徑300mm）蒸鍍機的企業(yè)，進一步填補了國內自主研發(fā)可量產OLED蒸鍍機此種機型的空白。 而在在另外一個賽道—噴墨打印方面，國內企業(yè)也取得了較大的進展，TCL華星光電完成首發(fā)噴墨打印OLED。不但減少Mask的使用，尤其是EML層FMM的使用，可以大幅減少Mask成本。尤其是避免大尺寸FMM使受應力下垂導致的器件不良；解決了蒸鍍制程中因HIL／HTL材料橫向漏電導致的RGB子像素間cross talk問題，材料利用率也有了較大程度的改觀。 技術路線之爭讓科技充滿著無限變化，其終極目標又是殊途同歸，這就是科技創(chuàng)新的魔力。欣奕華們扎根泛半導體產業(yè)高端裝備制造領域，在上游取得突破性進展讓我們欣喜，距離完成上中下游國產閉環(huán)又邁進了一大步，也為高科技發(fā)展的國運之爭作了生動注腳。 來源：OFweek維科號 新材料情報NMT?