概要

株式會社村田制作所開發(fā)了高精度、低功耗的靜電容量型MEMS氣壓傳感器。本產(chǎn)品應用了2012年1月收購的Murata Electronics Oy (以下稱: 村田芬蘭) 的靜電容量型 MEMS技術，能夠不受溫度變化的影響檢測出氣壓。

背景

近年來，應用于智能手機和平板電腦等移動設備的導航系統(tǒng)和檢測人體的行動、活動等狀態(tài)的活動監(jiān)視系統(tǒng)的研究和開發(fā)不斷地開展，對于高精度、低功耗能夠進行檢測高度的氣壓傳感器的需求也不斷高漲。

因此，我公司應用了村田芬蘭擁有的靜電容量型MEMS技術，完成了提高對溫度漂移的性能、降低噪聲水平為0.5Parms、能夠檢測出高低差的氣壓傳感器的開發(fā)。此產(chǎn)品相當于5cm的噪聲水平。

并且，通過采用靜電容量型，從而實現(xiàn)了低功耗，能夠為設備的節(jié)能作出貢獻。此產(chǎn)品除了能夠應用于衛(wèi)星導航和活動監(jiān)視系統(tǒng)，我們也期待著能夠有效利用于醫(yī)療保健設備和收集氣象數(shù)據(jù)等方面。

產(chǎn)品特點

高精度

提升對溫度漂移的性能

受到溫度變化的影響，氣壓檢測數(shù)據(jù)會有容易產(chǎn)生漂移的問題。我公司的氣壓傳感器幾乎完全不受到影響，能夠經(jīng)常取得正確的數(shù)據(jù)。

圖表1: 溫度變化和氣壓數(shù)據(jù)

降低噪聲水平

降低氣壓數(shù)據(jù)的噪聲水平，實現(xiàn)了高精度數(shù)據(jù)檢測。

圖表2: 對實際高度的氣壓數(shù)據(jù)和噪聲水平

低功耗

通過采用靜電容量型實現(xiàn)了低功耗。因此，能夠為裝載設備的節(jié)能作出貢獻。

功耗和噪聲水平

用途

導航系統(tǒng)、活動監(jiān)視系統(tǒng)

醫(yī)療保健設備

氣象數(shù)據(jù)采集 等

外形尺寸

2.3×2.6mm typ. ×0.95mm max.

生產(chǎn)體制

預定2014年冬開始生產(chǎn)