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[導(dǎo)讀]9月9日消息,據(jù)國外媒體報(bào)道稱,俄羅斯近日繞過了制裁,為本國存在了35年的光刻機(jī)續(xù)命。

9月9日消息,據(jù)國外媒體報(bào)道稱,俄羅斯近日繞過了制裁,為本國存在了35年的光刻機(jī)續(xù)命。

報(bào)道中提到,盡管歐洲制裁禁止向俄羅斯實(shí)體出售任何高科技機(jī)器,但俄羅斯公司仍在2022年和2023年成功獲得了ASML 1990年代芯片制造機(jī)器的備件。

俄羅斯進(jìn)口商已經(jīng)想方設(shè)法為ASML的PAS 5500光刻工具引進(jìn)了至少170批備件,而ASML 則表示,近年來沒有銷售產(chǎn)品或與俄羅斯分銷商有任何往來。

ASML的PAS 5500系列200毫米光刻工具最初于1991年推出,并在20世紀(jì)90年代和2 世紀(jì)初不斷發(fā)展。如今,PAS 5500系列包括i-line、氟化氪(KrF)步進(jìn)機(jī)以及 i-line、KrF 和氟化氬(ArF)步進(jìn)掃描系統(tǒng)。

雖然ASML不再生產(chǎn)這些光刻工具,但它銷售翻新的PAS 5500機(jī)器,并計(jì)劃將其支持到2035年,因此市場(chǎng)上有大量的備件,尤其是在中國。

不過俄羅斯也根本沒啥怕的,在這之前他們首臺(tái)光刻機(jī)已經(jīng)制造完成并正在進(jìn)行測(cè)試。

俄羅斯聯(lián)邦工業(yè)和貿(mào)易部副部長(zhǎng)瓦西里-什帕克指出,該設(shè)備可確保生產(chǎn)350nm的芯片。

在俄羅斯看來,盡管350nm的芯片技術(shù)相較之下顯得落后,但它在汽車、能源和電信等諸多行業(yè)中仍有著應(yīng)用價(jià)值。

俄羅斯已經(jīng)表示,計(jì)劃到2026年實(shí)現(xiàn)65nm的芯片節(jié)點(diǎn)工藝,2027年實(shí)現(xiàn)28nm本土芯片制造,到2030年實(shí)現(xiàn)14nm國產(chǎn)芯片制造。

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