中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（下簡稱“中微”）董事長兼CEO尹志堯在網(wǎng)絡(luò)上有兩個身份，一個是“打破格局！顛覆核心技術(shù)！外企獨霸的時代宣告結(jié)束??！巨頭們徹夜無眠！”的震驚式“王炸”，一個是“埋頭苦干，懇求媒體務(wù)實報道的”中國芯工程師。前者，是去年媒體對尹志堯博士受訪時一句“5納米今年年底基本上就要定了，現(xiàn)在進(jìn)展特別快”的瘋狂渲染，所意淫出的一個宇宙級戰(zhàn)士。后者，則是尹志堯博士口中的自己。

尹志堯（圖片來源：紅網(wǎng)）

在如今感嘆號已經(jīng)不值錢的年代，對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)頗有貢獻(xiàn)的尹志堯，真實的樣子是什么呢？筆者將從官方介紹和相關(guān)專訪資料中還原出來。

尹志堯出生于1944年，中學(xué)就讀于久負(fù)盛名的北京四中，成績優(yōu)異，“學(xué)霸”級的存在。本科畢業(yè)于中科大，隨后蘭州煉油廠和中科院系統(tǒng)從事催化劑和反應(yīng)器的研究和工業(yè)生產(chǎn)工作近十年。1978年，尹志堯選擇繼續(xù)深造，考入北京大學(xué)化學(xué)系。拿下化學(xué)碩士學(xué)位后，尹志堯又去大學(xué)洛杉磯分校，只用三年半時間就拿到了物理化學(xué)博士學(xué)位。

一路下來，將物理化學(xué)“盤”成了博士等級。所謂掌握數(shù)理化，走遍天下都不怕。此后，尹志堯開始了半導(dǎo)體行業(yè)打怪升級之路，“修仙地”就是硅谷，而且一干就是20年。

這20年里，尹志堯從工程師干到高管，先后在英特爾（技術(shù)發(fā)展中心，1984年加入）、泛林（Lam Research，引領(lǐng)了刻蝕技術(shù)的發(fā)展，1986年加入）、應(yīng)用材料等半導(dǎo)體行業(yè)的國際巨頭工作。且有13年是在應(yīng)用材料公司任職，擔(dān)任過公司副總裁、等離子體刻蝕設(shè)備產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理、亞洲區(qū)采購副總裁、應(yīng)用材料亞洲首席技術(shù)官等。

掐指一算，此時的尹志堯已到花甲之年，一般人年過60就開始盤算退休后的老年生活，甚至是廣場舞的地盤之爭，然而他選擇了回國為祖國半導(dǎo)體事業(yè)做貢獻(xiàn)。

回國之事，被一些媒體加以“英雄主義”渲染，一件留學(xué)生回國報效祖國的事情，變成了可與日月爭輝的事件。而在2015年接受《財富中國》采訪中，尹志堯表示：“60歲也就差不多年齡吧，而且很多5、60歲的人，都想一起回來干，那么再加上政府的推動。我們就決定在2004年回國做這個創(chuàng)業(yè)了?！?

當(dāng)時隨尹志堯從硅谷回來的還有15人，尹志堯博士稱中微的成就其實是大家共同的功勞。

一位昵稱為“劉長銘”新浪博主在2012年寫了一篇名為《我所認(rèn)識的尹志堯》的博客，其中提到：“那時尹博士在微電子領(lǐng)域已經(jīng)有了70多項國際發(fā)明專利，由于他在世界上屬于半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域中的領(lǐng)軍人物，掌握著許多關(guān)鍵技術(shù)，所以回來的過程頗費周折，甚至頗有風(fēng)險?！?

而這里的“風(fēng)險”，伴隨著中微的成長，許多故事也是有驚無險。

打官司的“老司機(jī)”

成立于2004年的中微，在2007年就掏出了第一代介質(zhì)刻蝕機(jī)，在業(yè)內(nèi)首次采用可單臺獨立操作的雙反應(yīng)臺。此前，國內(nèi)沒有任何企業(yè)可以供應(yīng)核心半導(dǎo)體制造設(shè)備，所需設(shè)備幾乎全部依賴進(jìn)口。

同時也就在那一年，尹志堯的老東家應(yīng)用材料前來找茬，當(dāng)年10月，將中微半導(dǎo)體告上了美國法庭，投訴其有竊密之嫌。為了證明自己的清白，中微聘請了美國一流的知識產(chǎn)權(quán)訴訟律師，花了兩年半的時間，徹查了中微 600 多萬件文件和 30 多人的電腦和文件，都沒有找到關(guān)于應(yīng)材的圖紙，技術(shù)數(shù)據(jù)和商業(yè)機(jī)密，這個訴訟最終得到和解。

雖說身正不怕影子斜的中微不懼任何訴訟，但你搶別人的生意，撬人家市場，就會被針對。上一個官司還沒和解，下一個官司又降臨。

在2009年，另一巨頭美國泛林研發(fā)在 2009 年在臺灣狀告中微的專利侵權(quán)。從結(jié)果來看，這起案件猶如禿子頭上的虱子——明擺著的，但卻就是那么難纏。起初只經(jīng)過8個月，中微就取得了一審的勝利。但泛林繼續(xù)上訴，法院又駁回，前前后后共重復(fù)四次。最后劇情反轉(zhuǎn)，中微拿出證據(jù)告對方竊取，并在上海法院提出訴訟，最后取得訴訟的勝利。

雖說結(jié)局樂觀，但從外界發(fā)出的第四次獲勝的新聞稿時間來看，已經(jīng)是2011年的12月29日了，官司一打就是近三年。

從04年成立到2011年年底，中微似乎并沒有被官司擾亂心神，研發(fā)成果沒被落下。除了剛剛提到的開山之作第一代介質(zhì)刻蝕機(jī)之外，還有一些深硅刻蝕設(shè)備，MOCVD設(shè)備。下圖截自《中微在科創(chuàng)板上市申請文件——第三輪審核問詢函的回復(fù)》中公司歷史研發(fā)項目的機(jī)臺研發(fā)情況圖。

此外，2011年10月，公司在大陸以外開設(shè)第一個研發(fā)中心，占地1800平方米的新設(shè)施位于臺灣竹南，除研發(fā)外，該設(shè)施還用于中微先進(jìn)刻蝕產(chǎn)品的最終測試和組裝。2012年3月，中微半導(dǎo)體宣布Primo AD-RIE為中芯國際安裝使用，主要用于32/28nm及以下工藝節(jié)點。

可以看出，中微是一面打著官司，一面搞著研發(fā)，本以為和應(yīng)用材料、泛林交完手，從此歲月靜好，但是你背負(fù)的使命感越強(qiáng)，找茬人就越多。

2017年LED設(shè)備廠商Veeco在美國紐約地方法院狀告MOCVD石墨托盤供應(yīng)廠商，認(rèn)為他們給中微半導(dǎo)體提供的石墨托盤侵犯Veeco的專利。作為打官司的“老司機(jī)”，這一次中微沒有聽之任之，直接采取反制行動，向中國專利局與其他國家專利主管機(jī)構(gòu)訴請Veeco的專利無效。

結(jié)果似乎很詭異，先是美方宣布對美國方面就先宣布對石墨托盤出貨禁令，讓中微無法獲得供貨，直到中微訴請 Veeco 的專利無效得到批準(zhǔn)。隨后中微在福建法院狀告 Veeco 托盤鎖定的設(shè)計侵權(quán)，最后福建高等法院也對Veeco 進(jìn)口中國的 MOCVD 設(shè)備實施出貨禁令。

對方最終妥協(xié)，同意與中微共享石墨托盤專利。

如今，2018年營收達(dá)到16.4億元的中微，前段時間也開啟了沖擊科創(chuàng)板之路。

當(dāng)危機(jī)已成習(xí)慣

從外界的報告資料來看，中微如今表現(xiàn)可圈可點，因為其一直專注為IC與LED領(lǐng)域客戶提供服務(wù)，憑借其專精的行業(yè)深度，不僅吸引了諸如中芯國際、長江存儲、三安光電等國內(nèi)泛半導(dǎo)體龍頭客戶，其刻蝕設(shè)備更是進(jìn)入了包括臺積電、SK 海力士、聯(lián)華電子、格芯等世界龍頭企業(yè)。

但不得不承認(rèn)與國際巨頭的差距依舊很大。

譬如，The Information Network數(shù)據(jù)顯示，前三大公司在 2017 年占據(jù)刻蝕設(shè)備總市場份額的 94%，近三年呈現(xiàn)進(jìn)一步集中的趨勢。中微只是在“其他”這一欄中小取一瓢。即便在招股說明書中，中微說自己“在國內(nèi)刻蝕設(shè)備市場中有突出市場競爭力，近期兩家國內(nèi)知名存儲芯片制造企業(yè)采購的刻蝕設(shè)備臺數(shù)訂單份額分別為15%和17%”。

招股說明書開篇就自認(rèn)九大風(fēng)險，分別是：研發(fā)投入不足導(dǎo)致技術(shù)被趕超或替代的風(fēng)險；關(guān)鍵技術(shù)人員流失、頂尖技術(shù)人才不足的風(fēng)險；下游客戶擴(kuò)產(chǎn)不及預(yù)期的風(fēng)險；公司規(guī)模擴(kuò)張帶來的管理和內(nèi)控風(fēng)險；財務(wù)風(fēng)險；知識產(chǎn)權(quán)爭議風(fēng)險；發(fā)行失敗風(fēng)險；市場競爭風(fēng)險；國際貿(mào)易摩擦風(fēng)險。

光從這風(fēng)險名稱中，就可以感受源源的壓力。

如果你說沒有什么壓力是錢解決不了的，這句話沒毛病，但做這行的，你知道錢多少才是夠的呢？正如尹志堯在2015年接受采訪時所說，在過去的10年，特別包括我自己在內(nèi)，去想辦法苦口婆心地說服各種有錢的投資商，包括政府機(jī)構(gòu)、研發(fā)項目負(fù)責(zé)人，來支持我們，給我們經(jīng)費。而別人一個研發(fā)總部一年半的研發(fā)經(jīng)費（15億），中微當(dāng)時省吃儉用盤了10年。

在去年12月，中微的5nm等離子體刻蝕機(jī)宣布通過臺積電驗證，將用于全球首條5nm制程生產(chǎn)線，預(yù)計2020年量產(chǎn)。一切仍是那么值得期待。

在風(fēng)險中尋找中國半導(dǎo)體企業(yè)的機(jī)會，中微估摸著已經(jīng)習(xí)慣各種壓力了。