今天當(dāng)你坐在沙發(fā)前，享受著大屏高清的時尚大片時，或許還渾然不覺正是顯示技術(shù)的進(jìn)步給你帶來的視覺盛宴?？梢哉f，正是人們對是視覺官感的要求越來越“刁難”推動著顯示技術(shù)的發(fā)展。顯示技術(shù)在當(dāng)前的應(yīng)用越來越多，從電視上的超薄4K OLED電視和模塊化大尺寸屏幕到汽車上的OLED車聯(lián)網(wǎng)屏幕再到移動設(shè)備上的柔性O(shè)LED和硬性O(shè)LED、OLED筆記本，再到現(xiàn)在火得不行的虛擬現(xiàn)實，顯示技術(shù)一步步地邁向更高的臺階。

我們可以直觀感受到尺寸上的變化：電視從40吋到55吋再到70吋的躍進(jìn)，手機(jī)也從3.5吋到5吋再到5.5吋的發(fā)展。在分辨率上也逐漸開始體驗著電視從HD到4K再到8K，手機(jī)326ppi到600ppi再到未來的700ppi。未來，顯示屏幕的形狀也越來越多元化，從平板到彎曲到可卷式或許再到折疊式。但身為消費(fèi)者的我們感受不到的是內(nèi)部技術(shù)是如何變革的，比如薄膜晶體管從當(dāng)初的非晶硅向低溫多晶硅和金屬氧化物發(fā)展，顯示屏幕從LCD屏向OLED或柔性O(shè)LED發(fā)展。我們也看不到顯示材料的進(jìn)步帶來的良率的挑戰(zhàn)、更復(fù)雜的工藝步驟和柔性底板挑戰(zhàn)等，更體會不到為保證顯示材料良率而不斷改良技術(shù)的公司的默默努力，應(yīng)用材料公司就是其中的一個。

應(yīng)用材料公司成立于1967年，在全球18個國家和地區(qū)設(shè)有81個分支機(jī)構(gòu)，業(yè)務(wù)部門主要有三個：半導(dǎo)體產(chǎn)品事業(yè)部、全球服務(wù)產(chǎn)品事業(yè)部、顯示產(chǎn)品及鄰近市場事業(yè)部。顯示產(chǎn)品事業(yè)部成立于1991年，憑借著在半導(dǎo)體檢視領(lǐng)域擁有的20年領(lǐng)導(dǎo)技術(shù)，應(yīng)用材料公司把半導(dǎo)體檢視技術(shù)帶到顯示行業(yè)，成為了全球領(lǐng)先的顯示設(shè)備制造商，致力于創(chuàng)造更薄、更輕、更大、便攜和更清晰的顯示產(chǎn)品。

2016年11月2日，在北京的媒體見面會上，應(yīng)用材料公司介紹了用于OLED和高分辨率LCD的高分辨率在線電子束檢視系統(tǒng)。電子束檢視技術(shù)(EBR)是一種非鍍膜無損傷的在線掃描電子顯微鏡解決方案。傳統(tǒng)的電子顯微鏡解決方案(SEM)在檢測過程不免會有一些缺陷，如金屬/C60鍍膜、檢視過程需損壞器件、響應(yīng)時間慢、樣本率低和信息流失等。EBR技術(shù)能夠有效地解決這幾個問題，據(jù)應(yīng)用材料公司顯示產(chǎn)品事業(yè)部良率技術(shù)產(chǎn)品部總經(jīng)理Peter D. Nunan介紹，EBR主要優(yōu)勢為無需鍍膜、無損傷檢視流程、響應(yīng)時間迅速、樣本率高、信息也得以鏈接。目前，EBR技術(shù)主要應(yīng)用在工藝和缺陷的檢測、構(gòu)成分析、LTPS顆粒結(jié)構(gòu)和CD測量。

與其他檢測技術(shù)的對比中可以看出，利用EBR技術(shù)后不僅有助于加快學(xué)習(xí)周期，更能使良率保持穩(wěn)定。使用EBR技術(shù)還能進(jìn)行整片在線檢視，甚至可以保證有機(jī)材料無損傷無收縮;還能進(jìn)行精確的過程檢測，如對低溫多晶硅(LTPS)的檢測中能夠檢測出包括LTPS顆?？臻g數(shù)據(jù)的高分辨率圖像，對圖像進(jìn)行加工以評估LTPS顆粒和突起。還能進(jìn)行EDX元素成分分析，用于構(gòu)成和根源分析。

Peter D. Nunan提到，關(guān)于EBR具有的低電壓帶來的“零損傷”的優(yōu)勢，這中間還有個小故事。當(dāng)初他們把電子束檢視技術(shù)(EBR)解決方案介紹給客戶的時候，應(yīng)用材料公司承諾說三個月內(nèi)就能幫助他們明顯提高良率，客戶不敢相信這是真的。結(jié)果三個月后，客戶說，應(yīng)用材料公司“騙”了他們，因為他們用的時間遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于三個月!

讓應(yīng)用材料公司頗為自豪的是，電子束檢視技術(shù)(EBR)真的是“時光機(jī)器”，它能夠為客戶節(jié)約時間，加快移動設(shè)備工廠的產(chǎn)能爬坡速度。對應(yīng)用材料公司來說，這個速度還不是極限，當(dāng)被問及下一步更優(yōu)化的方案時，Peter D. Nunan不假思索地回答到，速度是我們的追求，假如目前一個小時“時光機(jī)器”能看到100個缺陷，我們希望幾年之后能看到更多，并且我們的“時光機(jī)器”還能夠更快。