11月7日消息，針對荷蘭ASML公司延遲出貨EUV光刻機(jī)的報道，中芯國際剛剛也作出了回應(yīng)，稱“極紫外光（EUV）還在紙面工作階段，未進(jìn)行相關(guān)活動。公司先進(jìn)工藝研發(fā)進(jìn)展順利。目前，研發(fā)與生產(chǎn)的連結(jié)一切正常?？蛻襞c設(shè)備導(dǎo)入正常運(yùn)作?！?/p>

早些時候ASML也澄清稱，關(guān)于日經(jīng)新聞（NIKKEI）有關(guān)中芯國際相關(guān)報導(dǎo)有誤，“延遲出貨”僅為其媒體推測，ASML從未評論或確認(rèn)，對其將推測直接定性為事實作為新聞標(biāo)題并在文中闡述，表示抗議。

ASML表示，對全球客戶一視同仁。根據(jù)瓦圣納協(xié)議，ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可（export license）。該出口許可于今年到期，ASML已經(jīng)于到期前重新進(jìn)行申請，目前正在等待荷蘭政府核準(zhǔn)。

據(jù)了解，中芯國際目前量產(chǎn)的最先進(jìn)制程為14nm，12nm已經(jīng)取得重大突破。而EUV光刻機(jī)主要用在7nm及以下制程。