北大東莞光電研究院有望突破高質(zhì)量GaN單晶襯底制備難題
據(jù)報道,北京大學(xué)東莞光電研究院現(xiàn)有在孵企業(yè)32家,2018年度在孵企業(yè)營業(yè)總收入12.78億元。
光電研究院成立于2012年8月,由北京大學(xué)與東莞市人民政府共同組建,是廣東省首批新型研發(fā)機構(gòu)。研究院擁有半導(dǎo)體照明技術(shù)、激光顯示技術(shù)等六大平臺,建有廣東省院士成果轉(zhuǎn)化基地、博士后創(chuàng)新實踐基地、博士工作站。
目前,北大光電院依托北京大學(xué)物理學(xué)院及寬禁帶半導(dǎo)體研究中心的技術(shù)及人才優(yōu)勢,圍繞第三代寬禁帶半導(dǎo)體材料與器件未來發(fā)展的技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化方面展開研究,特別在氮化鎵GaN單晶襯底的研究方面獨樹一幟。
研究院擁有用于GaN材料生長的鈉流法晶體生長反應(yīng)室,氨熱法晶體生長反應(yīng)室、金屬有機物氣相沉積(MOCVD)及氫化物氣相外延(HVPE)等設(shè)備,幾種技術(shù)手段交叉綜合運用,有望突破高質(zhì)量GaN單晶襯底制備這一世界性難題。
研究院目前承擔(dān)包括GaN單晶襯底產(chǎn)業(yè)化項目、六英寸硅基GaN HEMT外延材料制備項目、鈣鈦礦太陽能電池及金剛石外延項目等30余項國家、省、市系列重大科研和產(chǎn)業(yè)化任務(wù),今年將啟動廣東省重大項目“GaN基THz器件研制及其在衛(wèi)星遙感中的應(yīng)用研究”。
東莞市中圖半導(dǎo)體科技有限公司是光電研究院孵化的企業(yè)之一,基于項目圖形化藍(lán)寶石襯底方面的研究成果,中圖半導(dǎo)體成功的實現(xiàn)了大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化推廣應(yīng)用。據(jù)悉,目前公司PSS年產(chǎn)能超過4500萬片(折合成2英寸PSS),成為全球規(guī)模最大的PSS制造商。
此外,中圖半導(dǎo)體PSS產(chǎn)品進(jìn)入韓國首爾半導(dǎo)體等國際知名LED外延芯片企業(yè)供應(yīng)鏈,產(chǎn)品用戶已發(fā)展到包括海外名牌企業(yè)和國內(nèi)多家上市公司在內(nèi)的國內(nèi)外40余家芯片制造企業(yè)。
今后,光電研究院將立足于第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),聚焦以第三代半導(dǎo)體材料為代表的新興材料,堅持創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略,發(fā)展核心元器件。