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MEMS

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微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機(jī)電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級，是一個獨(dú)立的智能系統(tǒng)。微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項革命性的新技術(shù)，廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，是一項關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工，涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。常

  • 傳感器技術(shù)面臨新型突破

    日前，瑞典皇家科學(xué)院宣布，博伊爾和史密斯因發(fā)明了CCD圖像傳感器而與高錕分享了2009年的諾貝爾物理學(xué)獎。CCD圖像傳感器如今已經(jīng)大規(guī)模應(yīng)用于數(shù)碼相機(jī)、手機(jī)、攝像機(jī)、掃描儀、工業(yè)領(lǐng)域以及醫(yī)學(xué)設(shè)備中，年出貨量在億

  • 消費(fèi)與移動MEMS市場將抵達(dá)新高度

    據(jù)iSuppli公司，手機(jī)和一系列新產(chǎn)品將助力消費(fèi)與移動MEMS傳感器市場，幫助其在2010年及未來數(shù)年保持強(qiáng)勁的連續(xù)增長。 用于消費(fèi)電子與手機(jī)的MEMS傳感器和激勵器，2010年銷售額預(yù)計將達(dá)到15億美元，比2009年的13億美元

    模擬
    2010-08-17
    移動 BSP MEMS

  • 消費(fèi)與移動MEMS市場將抵達(dá)新高度

    據(jù)iSuppli公司，手機(jī)和一系列新產(chǎn)品將助力消費(fèi)與移動MEMS傳感器市場，幫助其在2010年及未來數(shù)年保持強(qiáng)勁的連續(xù)增長?！　∮糜谙M(fèi)電子與手機(jī)的MEMS傳感器和激勵器，2010年銷售額預(yù)計將達(dá)到15億美元，比2009年的13億美

  • MEMS市場

    對手機(jī)制造商而言，因空間十分有限，故如何整合多種感測技術(shù)，是一大挑戰(zhàn)。 目前微機(jī)電(MEMS)業(yè)者多利用系統(tǒng)級封裝(SiP)技術(shù)，將微機(jī)電機(jī)械結(jié)構(gòu)和集成電路組件(ASIC)整合。 不論是加速度計(G-sensor)或是陀螺儀

  • 消費(fèi)、手機(jī)推動　未來4年MEMS維持高成長

    有別于大多數(shù)電子產(chǎn)業(yè)，消費(fèi)和移動電話用的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)組件市場去年不僅未受去年的衰退波及，甚至逆勢上揚(yáng)，未來幾年內(nèi)， MEMS 組件在消費(fèi)和移動電話領(lǐng)域穩(wěn)固成長。市調(diào)機(jī)構(gòu) iSuppli 預(yù)估，2010年消費(fèi)和手機(jī)應(yīng)

  • iSuppli：今年消費(fèi)性電子、手機(jī)用MEMS銷額將年增22.9%

    科技市調(diào)機(jī)構(gòu)iSuppli 13日發(fā)表研究報告指出，手機(jī)與一系列新推出的裝置將令消費(fèi)性電子產(chǎn)品、手機(jī)用微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)傳感器自今(2010)年起擁有穩(wěn)健、持續(xù)不斷的成長趨勢。 根據(jù)iSuppli預(yù)估，2010年用于消費(fèi)性電子

    模擬
    2010-08-16
    電子 ISUPPLI MEMS

  • 普渡大學(xué)自我校正MEMS電傳感器提供更靈敏的感測能力

    MEMS Sensor微機(jī)電傳感器對現(xiàn)在的電子產(chǎn)品而言已經(jīng)不是新產(chǎn)物，MEMS傳感器是把模擬的傳感器直接結(jié)合電路組件透過半導(dǎo)體制成生產(chǎn)的產(chǎn)物，借此縮小通過傳統(tǒng)工藝難以縮小的傳感器，舉凡智能手機(jī)、汽車、游戲機(jī)內(nèi)都可看到

  • 專訪博世:消費(fèi)電子如何成為MEMS大補(bǔ)丸?下

    本文是CTimes網(wǎng)站記者獨(dú)家專訪Bosch Sensortec全球營銷總監(jiān)Leopold Beer的最終回，主要是介紹博世在消費(fèi)電子MEMS應(yīng)用的發(fā)展策略。 博世在可攜式游戲機(jī)MEMS組件的發(fā)展計劃大概是如何？ Leopold Beer：我們的加

  • 專訪博世:消費(fèi)電子如何成為MEMS大補(bǔ)丸?中

    本文將繼續(xù)CTimes網(wǎng)站記者獨(dú)家專訪Bosch Sensortec全球營銷總監(jiān)Leopold Beer的內(nèi)容，主要是討論MEMS制程標(biāo)準(zhǔn)化的發(fā)展可能性及挑戰(zhàn)。 我很好奇使用接口這塊應(yīng)用?，F(xiàn)在有許多MEMS廠商也提供MEMS組件軟硬件解決方案

  • MEMS 建模設(shè)計與制作

    　MEMS 日益增加的復(fù)雜性需要設(shè)計流程允許工程師在構(gòu)造實(shí)際硅片之前模擬整個制造分布、所有環(huán)境和操作條件的整個多模系統(tǒng)。這使工程師能夠快速、積極地優(yōu)化設(shè)計，以便最大限度地提高系統(tǒng)準(zhǔn)確性和可靠性，同時最大限度

  • 消費(fèi)與移動MEMS市場將抵達(dá)新高度

    作者：JéRéMIE BOUCHAUD，RICHARD DIXON據(jù)iSuppli公司，手機(jī)和一系列新產(chǎn)品將助力消費(fèi)與移動MEMS傳感器市場，幫助其在2010年及未來數(shù)年保持強(qiáng)勁的連續(xù)增長。用于消費(fèi)電子與手機(jī)的MEMS傳感器和激勵器，2010年銷售

  • 專訪Bosch：消費(fèi)電子如何成為MEMS大補(bǔ)丸?(上)

    MEMS在消費(fèi)電子領(lǐng)域正不斷成長當(dāng)中，加速度計和陀螺儀也更廣泛地被應(yīng)用在手機(jī)、筆電和游戲機(jī)等產(chǎn)品內(nèi)，MEMS未來發(fā)展前景更備受期待。在車用MEMS領(lǐng)域具有優(yōu)勢的博世（Robert Bosch GmBH），也透過子公司Bosch Senso

  • 手機(jī)與新型MEMS設(shè)備將推動該市場連年增長

    據(jù)iSuppli公司，手機(jī)和一系列新產(chǎn)品將助力消費(fèi)與移動MEMS傳感器市場，幫助其在2010年及未來數(shù)年保持強(qiáng)勁的連續(xù)增長。 用于消費(fèi)電子與手機(jī)的MEMS傳感器和激勵器，2010年銷售額預(yù)計將達(dá)到15億美元，比2009年的1

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    2010-08-11
    移動 BSP MEMS

  • 消費(fèi)與移動MEMS市場將抵達(dá)新高度

    據(jù)iSuppli公司，手機(jī)和一系列新產(chǎn)品將助力消費(fèi)與移動MEMS傳感器市場，幫助其在2010年及未來數(shù)年保持強(qiáng)勁的連續(xù)增長。 用于消費(fèi)電子與手機(jī)的MEMS傳感器和激勵器，2010年銷售額預(yù)計將達(dá)到15億美元，比2009年的13億美元

  • 國家高新區(qū)MEMS研究院落戶淄博

    8月8日，國家高新區(qū)MEMS研究院、清華大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院產(chǎn)學(xué)研基地建設(shè)合作協(xié)議簽約儀式在火炬大廈舉行，清華大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院院長尤政，市委副書記、市長周清利，市委常委、副市長王頂岐出席簽約儀式。王頂岐在簽約儀

  • 國家高新區(qū)MEMS研究院落戶淄博

    8月8日，國家高新區(qū)MEMS研究院、清華大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院產(chǎn)學(xué)研基地建設(shè)合作協(xié)議簽約儀式在火炬大廈舉行，清華大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院院長尤政，淄博市委副書記、市長周清利，市委常委、副市長王頂岐出席簽約儀式。王頂岐在

  • MEMS流體陀螺研究

    引 言 MEMS技術(shù)的發(fā)展使得慣性技術(shù)領(lǐng)域正在經(jīng)歷一場深刻的變化。慣性傳感器是利用物體的慣性性質(zhì)來測量物體運(yùn)動情況的一類傳感器，包括加速度計和陀螺。其中微陀螺在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)如航空航天和航海事業(yè)中發(fā)揮著越

  • 日本東北大學(xué)的MEMS用試制Coin Laundry將在10月正式啟用

    日本東北大學(xué)的微系統(tǒng)融合研究開發(fā)中心2010年4月開設(shè)的MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）“試制Coin Laundry”，從目前半導(dǎo)體制造裝置的維護(hù)狀態(tài)來看，預(yù)計可在今年10月前后正式啟動。這一消息是東北大學(xué)原

  • MEMS市場持續(xù)增溫　探微8吋廠產(chǎn)能滿載

    受惠于手機(jī)、游戲機(jī)等消費(fèi)性電子產(chǎn)品出貨量持續(xù)成長，臺系微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)相關(guān)業(yè)者雨露均沾。其中，晶圓代工業(yè)者探微科技的8吋廠第3季已是產(chǎn)線滿載。 另外，臺系MEMS廠利順精密的加速度器(G-sensor)已進(jìn)入小量出

  • 佳能MJ將在日本銷售MEMS犧牲層用干蝕刻機(jī),Point 35公司制造

    日本佳能營銷（佳能MJ）將從7月28日開始在日本銷售在MEMS制造工序中形成立體構(gòu)造時所需的犧牲層去除用枚葉式干蝕刻裝置“memsstar”。該裝置由英國Point 35 Microstructures公司制造，目前佳能MJ已與Point 35簽訂了在