把各種測量集成到器件特性分析中最困難的問題之一，是每種測量類型基本上都要求不同的線纜。選擇與測量類型配套的線纜增強(qiáng)了測量完整性。但是，改變每種測量類型的電纜耗時很長，許多用戶只能接受次優(yōu)結(jié)果。此外，在重新連接電纜時，用戶會面臨電纜重連不正確的風(fēng)險，進(jìn)而導(dǎo)致錯誤，需要額外的調(diào)試時間。更糟糕的是，這些錯誤在很長時間內(nèi)都可能注意不到。

針對這些開關(guān)測試的困擾，泰克圍繞客戶應(yīng)用需求進(jìn)行創(chuàng)新，其新型吉時利高速度、高完整性開關(guān)解決方案幫助客戶輕松完成復(fù)雜測試。4200A-CVIV多通道開關(guān)在I-V測量和C-V測量之間自動切換，C-V測量可以移動到任何輸出通道上，而不需重新布線。這種4通道開關(guān)允許用戶在I-V和C-V測試期間保持相同的阻抗，可以把探針保留在晶圓測試站上。另外，用戶不需要改變測試設(shè)置和電纜連接，從而增強(qiáng)測量的準(zhǔn)確性。

雙像素二極管特性分析應(yīng)用

伯克利國家實驗室檢測器部門的科研人員正在開發(fā)更高效的硅檢測器，用來監(jiān)測空基應(yīng)用中使用的各種放射信號，如X射線。其檢測器是一種雙像素二極管傳感器。雙像素二極管由兩個PIN二極管組成，每個二極管的陽極相連。開發(fā)工作包括在工廠鑄造晶圓。晶圓鑄造工藝一般要求在晶圓制作的各個階段及在晶圓完工時進(jìn)行測試，以保證工藝完整性，確保原型器件滿足設(shè)計規(guī)范。

典型的器件特性分析包括在高達(dá)100V和CV (電容-電壓)的正向和逆向偏置條件下分析IV特性。由于器件是雙二極管排列，因此每個器件要執(zhí)行兩次IV和CV測試，一對二極管中每個二極管測試一次。在使用老式測試配置和設(shè)備時，整個器件特性分析中每個器件需要長達(dá)10分鐘才能完成IV和CV測試。

將老式IV/CV測試設(shè)備換上吉時利Model 4200A和最新CVIV多開關(guān)后，客戶的測試時間明顯縮短，因為不需要為每種測試類型手動重新配置測試，大大改善了數(shù)據(jù)采集和管理工作。

通過利用4200A-CVIV多開關(guān)來消除測試站重新配置，并在Clarius測試軟件內(nèi)部綜合執(zhí)行所有測試，總體測試時間從6分鐘縮短到僅12秒。盡管這不是生產(chǎn)環(huán)境，但測試時間縮短到幾秒仍令科研人員非常高興，因為他們可以把重點放在研究上，更快地了解器件特點。

圖2：使用傳統(tǒng)設(shè)備所需的測試時間與使用4200A-SCS參數(shù)分析儀及CVIV多開關(guān)所需的測試時間。

泰克高性能4200A-SCS 是一個模塊化、可定制、高度一體化的參數(shù)分析儀，可同時進(jìn)行電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 和超快脈沖 I-V 電學(xué)測試。使用其可選的 4200A-CVIV 多通道開關(guān)模塊，可輕松地在 I-V 和 C-V 測量之間切換，而無需重新布線或抬起探針。4200A-SCS參數(shù)分析儀可大大加快客戶的測試速度，廣泛用于材料研究、半導(dǎo)體器件設(shè)計、工藝開發(fā)或生產(chǎn)的復(fù)雜器件。

© 泰克公司版權(quán)所有，侵權(quán)必究。泰克產(chǎn)品受到已經(jīng)簽發(fā)及正在申請的美國專利及外國專利的保護(hù)。本文中的信息代替以前出版的材料中的所有信息。本文中的技術(shù)數(shù)據(jù)和價格如有變更，恕不另行通告。TEKTRONIX和TEK是泰克公司的注冊商標(biāo)。本文中提到的所有商號均為各自公司的服務(wù)標(biāo)志、商標(biāo)或注冊商標(biāo)。