在國(guó)家科技部“863”項(xiàng)目“微機(jī)電系統(tǒng)”重大專項(xiàng)的支持下，中國(guó)科學(xué)院微系統(tǒng)所與南京石油物探研究所緊密合作，經(jīng)過將近兩年的努力，克服重重困難，研制成功以國(guó)產(chǎn)MEMS加速度計(jì)為核心的石油勘探地震檢波器。試驗(yàn)人員把試制的MEMS檢波器在東北敦化山區(qū)作了野外試驗(yàn)，試驗(yàn)與實(shí)際生產(chǎn)同步，生產(chǎn)用的檢波器采用12只常規(guī)檢波器串聯(lián)提高信噪比，MEMS檢波器為單點(diǎn)接收。這次試驗(yàn)數(shù)據(jù)經(jīng)過簡(jiǎn)單帶通濾波處理表明，MEMS檢波器接收的單炮記錄接近于傳統(tǒng)檢波器串接收的記錄，并且MEMS檢波器接收記錄的同相軸分辨率比傳統(tǒng)檢波器串要高，同時(shí)這次試驗(yàn)是在實(shí)際生產(chǎn)的條件下完成的，在較差的環(huán)境中取得了較好的試驗(yàn)結(jié)果。目前，微系統(tǒng)所試制的MEMS檢波器在前幾次試驗(yàn)的基礎(chǔ)上，改善了加速度計(jì)的檢測(cè)電路，克服了加速度計(jì)自身干擾信號(hào)，改進(jìn)了封裝工藝，從而在性能上有了較大改善，在實(shí)用化方面取得了重要進(jìn)展。基于MEMS加速度計(jì)的地震檢波器在頻帶、動(dòng)態(tài)范圍和軸向抗干擾性等性能指標(biāo)上優(yōu)于傳統(tǒng)檢波器，經(jīng)過進(jìn)一步性能改進(jìn)和提高后，完全有能力應(yīng)用于石油勘探行業(yè)并逐步替代傳統(tǒng)檢波器，這對(duì)于提高微系統(tǒng)加工和封裝平臺(tái)的產(chǎn)業(yè)化能力、降低石油勘探成本和風(fēng)險(xiǎn)、提升石油勘探行業(yè)的技術(shù)水平具有重要的社會(huì)效益和經(jīng)濟(jì)效益。