近日，國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專(zhuān)項(xiàng)(以下簡(jiǎn)稱(chēng)02重大專(zhuān)項(xiàng))實(shí)施管理辦公室組織任務(wù)驗(yàn)收專(zhuān)家組、財(cái)務(wù)驗(yàn)收專(zhuān)家組對(duì)02重大專(zhuān)項(xiàng)“極紫外光刻膠材料與實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)技術(shù)研究”項(xiàng)目進(jìn)行了任務(wù)驗(yàn)收和財(cái)務(wù)驗(yàn)收。與會(huì)專(zhuān)家聽(tīng)取了項(xiàng)目負(fù)責(zé)人和課題負(fù)責(zé)人對(duì)項(xiàng)目和課題完成情況的匯報(bào)、測(cè)試組的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試報(bào)告、財(cái)務(wù)執(zhí)行情況報(bào)告等，審閱了驗(yàn)收資料。經(jīng)過(guò)認(rèn)真討論，與會(huì)專(zhuān)家一致同意該項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收。

《國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要(2006-2020年)》在重點(diǎn)領(lǐng)域中確定一批優(yōu)先主題的同時(shí)，圍繞國(guó)家目標(biāo)，進(jìn)一步突出重點(diǎn)，篩選出若干重大戰(zhàn)略產(chǎn)品、關(guān)鍵共性技術(shù)或重大工程作為重大專(zhuān)項(xiàng)，力爭(zhēng)取得突破，努力實(shí)現(xiàn)以科技發(fā)展的局部躍升帶動(dòng)生產(chǎn)力的跨越發(fā)展。

“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”專(zhuān)項(xiàng)(02專(zhuān)項(xiàng))項(xiàng)目“極紫外光刻膠材料與實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)技術(shù)研究”由中國(guó)科學(xué)院化學(xué)研究所、中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所、北京科華微電子材料有限公司聯(lián)合承擔(dān)。經(jīng)過(guò)項(xiàng)目組全體成員的努力攻關(guān)，完成了EUV光刻膠關(guān)鍵材料的設(shè)計(jì)、制備和合成工藝研究、配方組成和光刻膠制備、實(shí)驗(yàn)室光刻膠性能的初步評(píng)價(jià)裝備的研發(fā)，達(dá)到了任務(wù)書(shū)中規(guī)定的材料和裝備的考核指標(biāo)。項(xiàng)目共申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利15項(xiàng)(包括國(guó)際專(zhuān)利5項(xiàng))，截止到目前，共獲得授權(quán)專(zhuān)利10項(xiàng)(包括國(guó)際專(zhuān)利授權(quán)3項(xiàng));培養(yǎng)了博士研究生9名，碩士研究生1名。

與會(huì)專(zhuān)家對(duì)項(xiàng)目取得的研發(fā)成果給予了充分肯定，指出開(kāi)展極紫外光刻膠的研發(fā)具有戰(zhàn)略眼光，經(jīng)過(guò)項(xiàng)目組成員幾年的努力，圓滿(mǎn)地完成了研發(fā)任務(wù)，達(dá)到了項(xiàng)目任務(wù)書(shū)中規(guī)定的指標(biāo);建立了一支在高檔光刻膠領(lǐng)域的研發(fā)隊(duì)伍，為我國(guó)的半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展提供了人才支持。

課題承擔(dān)單位中科院理化所和項(xiàng)目負(fù)責(zé)單位中科院化學(xué)所的相關(guān)負(fù)責(zé)人在致辭中對(duì)專(zhuān)家組多年來(lái)對(duì)光刻膠研發(fā)團(tuán)隊(duì)的支持表示衷心的感謝。我國(guó)的高檔電子化學(xué)品的研發(fā)正處于高速發(fā)展期，該項(xiàng)目的完成將對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展提供重要保證，希望對(duì)高檔光刻膠的研發(fā)給予持續(xù)的支持;鼓勵(lì)研發(fā)團(tuán)隊(duì)繼續(xù)努力，發(fā)揮在特殊材料領(lǐng)域設(shè)計(jì)和制備的優(yōu)勢(shì)，為我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展做出自己的貢獻(xiàn)。

科技部重大專(zhuān)項(xiàng)辦公室、北京市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會(huì)、02重大專(zhuān)項(xiàng)辦公室、02重大專(zhuān)項(xiàng)總體組及02重大專(zhuān)項(xiàng)辦公室聘請(qǐng)的任務(wù)驗(yàn)收專(zhuān)家和財(cái)務(wù)驗(yàn)收專(zhuān)家等有關(guān)單位的負(fù)責(zé)人和專(zhuān)家參加了本次驗(yàn)收會(huì)。