2013年，全球MEMS代工業(yè)并未得到期望中的高速增長，只有少數(shù)代工廠取得了成功。從全球來看，MEMS代工業(yè)滯后于MEMS市場的發(fā)展，80%的銷售額屬于IDM。在全球領先的MEMS代工廠中，純代工廠有TSMC、X-Fab，純MEMS代工廠有SILEX、APM、IMT、TRONICS。IDM雖然只有ST、SONY、Dalsa三家，但在收入中占比接近60%。純代工模式在MEMS領域仍屬“非主流”。

中國MEMS產業(yè)化進程明顯滯后于西方發(fā)達國家，旺盛的MEMS市場需求與相對薄弱的產業(yè)形成反差。具有一定知名度和出貨量的本土MEMS企業(yè)仍然屈指可數(shù)，逐鹿中國市場的主要競爭者仍以跨國企業(yè)為主，產業(yè)迫切需要具有MEMS流片經驗的高端技術人才。

目前，國內MEMS代工廠主要有華潤上華、中芯國際、上海先進等，工藝開發(fā)是目前代工廠面臨的主要問題之一。單從硬件來看，海外成功的代工廠在設備上與國內代工廠不相上下。以APM為例， APM的MEMS代工全球排名前十，基礎設備為二手6英寸0.25um制程CMOS產線，后補充增加高深寬比反應離子刻蝕機，與國內動輒8英寸產線相比，大部分設備并不算非常先進。但海外代工廠的工藝開發(fā)能力遠優(yōu)于國內代工廠。以臺積電為例，工藝開發(fā)業(yè)務員約3000人，其中MEMS工藝開發(fā)占10%，初步形成了基于特定產品的標準工藝。海外代工廠的開發(fā)速度較快，一般半年時間能形成穩(wěn)定產能、較高良率，而國內代工廠通常則需要3-5年的時間。

盡管代工廠的MEMS業(yè)務尚未風生水起，但由于看好中國MEMS產業(yè)的發(fā)展前景，大量資本涌入MEMS產業(yè)。目前來看，國內MEMS產線投資旺盛，一批項目正在建設，同時另有一批項目正在策劃、評審。正在建設的項目絕大多數(shù)定位為IDM+代工的模式，如洛陽力盛芯8英寸光MEMS產線、遼寧撫順罕王集團8英寸產線、中電13所6英寸產線，另外還有淄博4英寸中試線、蚌埠6英寸中試線以及蘇州工業(yè)園的6英寸代工線等。到2015年，MEMS產線將陸續(xù)建成，形成近85萬片的年產能，但僅從目前國內MEMS訂單來看，遠遠不能滿足這些產線的需要。2013年中國大陸生產MEMS晶圓3.6萬片，其中45.9%為6英寸晶圓，主要用于科研、中試、中低端產品生產，45.9%為8英寸晶圓，主要用于中試、中高端產品生產。

僅僅依靠擴大產能并不能實現(xiàn)中國MEMS產業(yè)的跨越式發(fā)展，技術是中國MEMS產業(yè)鏈的短板。國內設計業(yè)產品技術不夠成熟，特色不夠鮮明，市場認可度不高，不能為代工廠提供足夠的訂單;而代工廠對特定產品也缺乏足夠的技術儲備，量產階段的設計公司往往更愿意跟海外的代工廠合作，比如臺積電、X-Fab、Filex等，以期望得到足夠的良率和穩(wěn)定的產品。

投資MEMS不易操之過急。MEMS技術的成熟需要長期的投入和積累，融入到特色工藝開發(fā)的綜合業(yè)務中去，最大效率地發(fā)揮設備潛力，提高產線的生存能力。可以參照代工廠的模式，放開特色工藝的品種，除了MEMS之外，發(fā)展功率器件、圖像傳感器等多元化代工業(yè)務，根據(jù)市場需求及時調整產能配比，從而不會因為MEMS訂單不足而閑置機臺，造成大量浪費。

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