Plainview，N.Y.， Veeco Instruments Inc.(Nasdaq：VECO)宣布與 ALLOS Semiconductors(ALLOS)完成一項(xiàng)戰(zhàn)略措施，以展示 200mm 硅基板用于氮化鎵藍(lán)/綠光 Micro‐LED 的生產(chǎn)上。 Veeco 與 ALLOS 合作將其專有的磊晶技術(shù)轉(zhuǎn)移到 Propel® Single‐Wafer MOCVD 系統(tǒng)上，以便于現(xiàn)有的硅生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)生產(chǎn) Micro‐LED。

“使用 Propel 反應(yīng)腔，我們就擁有了一項(xiàng) MOCVD 技術(shù)來實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)能的 GaN 磊晶，可滿足在200mm 硅生產(chǎn)線上生產(chǎn) Micro‐LED 元件的所有要求， “ALLOS 半導(dǎo)體公司執(zhí)行長 Burkhard Slischka表示。不到一個(gè)月的時(shí)間，我們就已經(jīng)在 Propel 上建立了我們的技術(shù)，并且獲得了無裂紋、無回熔 (meltback‐free)的晶圓，其翹曲度低于 30 微米，晶體質(zhì)量高，優(yōu)異的厚度均勻性與小于 1nm 的波長均勻性。和 Veeco 一起，ALLOS 期待將這種技術(shù)更廣泛地應(yīng)用于 Micro‐LED 的產(chǎn)業(yè)中。“

Micro‐LED 顯示技術(shù)由< 30x30 平方微米的紅色，綠色，藍(lán)色(RGB)無機(jī) LED 所組成，再轉(zhuǎn)化為顯示器背板以形成子像素。與 OLED 和 LCD 相比，這些高效率 LED 直接發(fā)射且耗電量更低，卻可以為移動(dòng)顯示器，電視機(jī)和穿戴式裝置提供卓越的亮度和對比度。Micro‐LED 的製造需要高質(zhì)量、均勻的磊晶晶片來滿足顯示器的產(chǎn)量和成本控制的目標(biāo)。

“與競爭對手的 MOCVD 平臺(tái)相比，由于 Veeco 的 TurboDisc® technology 提供了更廣泛的製程范圍，因此 Propel 提供了一流的均勻性同時(shí)還能獲得優(yōu)良的薄膜品質(zhì)。”Veeco 高級副總裁兼

MOCVD 營運(yùn)總經(jīng)理 Peo Hansson 博士表示。“將 Veeco 領(lǐng)先的 MOCVD 專業(yè)技術(shù)與 ALLOS 的 GaN‐ on‐Silicon 的磊晶技術(shù)結(jié)合在一起，使我們的客戶能夠開發(fā)出低成本的Micro‐LED，為新的市場中的開拓出新的應(yīng)用。”