比利時納米電子研究中心IMEC與Veeco正在進行項目合作,旨在降低生產(chǎn)硅基氮化鎵(GaN-on-Si)功率器件和LED的成本。
IMEC的首席科學(xué)家Barun Dutta評論說,“Veeco MOCVD設(shè)備的生產(chǎn)力,可重復(fù)性,均勻性和晶體質(zhì)量為我們在硅基氮化鎵和LED應(yīng)用的發(fā)展里程碑上起到了重要作用。啟用該設(shè)備性能外延已經(jīng)幫助我們實現(xiàn)最先進的D-模式(耗盡模式)和E-模式(增強模式)功率器件。我們的目標(biāo)是建立一個完整的生產(chǎn)基礎(chǔ)設(shè)施,使硅基氮化鎵成為具備競爭力的技術(shù)?!?/p>
IMEC的多元伙伴硅基氮化鎵的研究和發(fā)展計劃,積聚業(yè)界共同開發(fā)世界級的氮化鎵LED及兼容200nm的CMOS基礎(chǔ)設(shè)施的200nm硅襯底功率器件。通過與IMEC聯(lián)手,公司共享成本、人才和知識產(chǎn)權(quán),以開發(fā)先進技術(shù),將它們更快地推向市場。
Veeco高級副總裁兼總經(jīng)理,Jim Jenson,評論說,“2011年以來,我們一直就這個項目與IMEC合作,并受到自身進步的鼓勵。我們的合作是互惠互利的,因為我們都專注于能夠?qū)崿F(xiàn)更低的成本,同時保持硅基氮化鎵器件的一流性能。這種技術(shù)可以用于實現(xiàn)較低的成本,使固態(tài)照明,更高效的電源設(shè)備適用于多種應(yīng)用,如電源及適配器,光伏逆變器的太陽能電池板,和用于電動車的功率轉(zhuǎn)換。