由日本名古屋大學工學部副教授大野雄高與阪東化學組成的研究團隊,利用柔版印刷技術試制出了柔性顯示器等用的碳納米管(CNT)TFT,獲得了高達112cm2/Vs的遷移率。并在2012年13日在日本愛媛大學舉行的“2012年秋季第73屆應用物理學會學術演講會”(2012年9月11~14日于)上發(fā)表(演講序號:13a-C2-5)。
柔版印刷是凸版印刷的一種,其特點之一是使用橡膠版或光硬化樹脂制柔性版。該印刷技術要利用光硬化性等制成印刷圖案的圓輥狀凸版,并用表面為多孔狀的輥子(網(wǎng)紋輥)將水性油墨蘸在版上來印刷。印刷精度雖比凹版略低,但其處理量遠高于絲網(wǎng)印刷及噴墨印刷。
大野等著眼于高處理量、低成本性以及與卷對卷方式的適應性,利用柔版印刷技術試制了CNT-TFT。
整個工藝全部在常溫常壓條件下進行,柵電極及源/漏電極使用銀納米粒子、柵絕緣膜使用亞胺樹脂、TFT的溝道層使用CNT。CNT圖案形成使用常壓下的氧(O2)等離子體,而為形成圖案的光刻膠層也是使用印刷技術形成的。
CNT系使用大野研究室正在開發(fā)的氣相過濾干轉(zhuǎn)印法制造?;迨褂肞EN(聚萘二甲酸乙二醇酯)薄膜。印刷速度為6.6cm/秒。
試制的CNT-TFT的溝道長度為115μm,載流子遷移率為112cm2/Vs,導通/截止比為104。載流子遷移率數(shù)值之高足可供顯示器驅(qū)動TFT使用。(源自:《日經(jīng)電子》 記者:野澤哲生)