友達(dá)32英寸OLED面板IGZO TFT采用7枚光掩模制作
友達(dá)光電(AU Optronics,AUO)在美國(guó)波士頓舉行的最大規(guī)模顯示器國(guó)際學(xué)會(huì)“SID 2012”上發(fā)表了32英寸OLED面板的實(shí)現(xiàn)技術(shù) [論文序號(hào):9.3]。像素為1920×1080,亮度為200cd/m2,對(duì)比度為100萬(wàn):1。
32英寸開(kāi)發(fā)品的驅(qū)動(dòng)元件采用氧化物半導(dǎo)體IGZO(In-Ga-Zn-O)TFT。載流子遷移率為14.1cm2/Vs,閾值電壓約為1.4V,亞閾值擺幅為0.38V/dec.以下。
IGZO TFT構(gòu)造為底柵型,光掩膜數(shù)量為7枚,分別是(1)柵極電極(Al/Mo)、(2)通道層(IGZO)、(3)蝕刻阻擋層(SiOx)、(4)源漏電極(MoN/Al/MoN)、(5)保護(hù)膜(鈍化膜,SiOx/SiNx)、(6)陽(yáng)極(ITO)、(7)Bank層(有機(jī)膜)。
IGZO層的成膜采用DC濺射技術(shù)。友達(dá)光電開(kāi)發(fā)IGZO TFT驅(qū)動(dòng)的32英寸液晶面板時(shí)利用5枚掩模制作,此次為形成OLED元件追加了掩模。
OLED元件構(gòu)造采用從TFT基板側(cè)提取光的底部發(fā)光型。利用金屬掩模蒸鍍法分涂低分子型RGB三色發(fā)光材料形成彩色面板。