極特先進科技公司(GT Advanced Technologies)(NASDAQ:GTAT)與Soitec(NYSE Euronext:SOI)日前宣布了一項開發(fā)及許可協(xié)議，根據(jù)該協(xié)議，GT將開發(fā)、生產(chǎn)和商業(yè)化大容量多晶圓HVPE系統(tǒng)。這一HVPE系統(tǒng)將用于生產(chǎn)LED或其他高增長行業(yè)(例如電力電子行業(yè))所用襯底的優(yōu)質GaN外延薄膜。與傳統(tǒng)的金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)工藝相比，HVPE系統(tǒng)可能帶來更高的增長率并改進材料特性，有望顯著降低工藝成本，同時提高設備性能。協(xié)議中規(guī)定的專利技術許可費的首期預付款已經(jīng)開始支付，但是具體條款尚未對外披露。

Soitec Phoenix Labs(Soitec旗下的一家子公司)擁有獨家HVPE專利技術，包括有望降低輸送至HVPE反應器的前驅體成本的新穎且先進的源輸送系統(tǒng)。GT公司將利用上述HVPE專利技術來開發(fā)、生產(chǎn)和商業(yè)化HVPE系統(tǒng)。這一HVPE系統(tǒng)可實現(xiàn)GaN模板藍寶石襯底的規(guī)?；a(chǎn)。HVPE系統(tǒng)預計將于2014年下半年上市。

Soitec Phoenix Labs副總裁兼總經(jīng)理Chantal Arena表示：“我們已在GaN外延工藝開發(fā)方面傾注了六年多的時間，并且在HVPE技術方面也已取得了關鍵性突破。這一技術對生產(chǎn)高質量、低成本的藍寶石襯底的GaN薄膜至關重要。今天，我們和GT公司共同宣布的開發(fā)和許可協(xié)議是這項工作的終極證明，同時這項協(xié)議是建立在去年我們與Silian共同公布的協(xié)議基礎之上，其時協(xié)議的目的旨在將基于HVPE的技術集成入其藍寶石中。這使得Soitec能夠針對差異化的技術和產(chǎn)業(yè)合作伙伴提供包括材料和設備在內的不同層次的LED照明系統(tǒng)產(chǎn)品。Soitec Phoenix Labs在外延附生技術和GaN材料方面的精深專業(yè)技能， 將成為GT公司向市場提供革命性HVPE系統(tǒng)的關鍵性因素。”

GT 總裁兼首席執(zhí)行官Tom Gutierrez表示：“GT公司在提供改變行業(yè)(如太陽能PV和LED)的創(chuàng)新設備方面擁有良好的成功記錄。隨著我們不斷拓展新的高價值技術以擴大業(yè)務范圍和向市場提供成功的解決方案，我們希望找擁有合適技術的合作伙伴，以與我們的設備業(yè)務形成互補。在經(jīng)過廣泛的尋找之后，我們最終與Soitec簽訂了協(xié)議。在GaN工藝專有技術方面，Soitec Phoenix Labs帶來了高水平的專長和技術經(jīng)驗。當HVPE系統(tǒng)上市時，我們相信新的HVPE系統(tǒng)將成為一個重要因素，能夠進一步降低LED設備成本并幫助推動行業(yè)形成更強的競爭力和更大的增長。”