2004年9月我國(guó)第一個(gè)世界先進(jìn)水平的12英寸生產(chǎn)線——中芯國(guó)際北京廠建成投產(chǎn)，到今年6月已完成第一期12.5億美元的全部投資，目前正在進(jìn)行總投資17.5億美元的一期擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目建設(shè)。另外，國(guó)家863重大設(shè)備專項(xiàng)——8英寸100納米等離子刻蝕機(jī)和大角度離子注入機(jī)已完成科技部規(guī)定的全部研發(fā)任務(wù)，并順利實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，實(shí)現(xiàn)批量銷售，分別申請(qǐng)專利147項(xiàng)和137項(xiàng)。國(guó)家863重大材料專項(xiàng)——12英寸硅片已完成科技部規(guī)定的全部研發(fā)任務(wù)，生產(chǎn)線的建設(shè)已完成，目前產(chǎn)品正在大生產(chǎn)線進(jìn)行評(píng)估，預(yù)計(jì)10月底可完成項(xiàng)目驗(yàn)收實(shí)現(xiàn)批量銷售。