東芝全額出資的加賀東芝電子正式啟動(dòng)了用于功率半導(dǎo)體的該公司首條200mm晶圓生產(chǎn)線(xiàn)。新生產(chǎn)線(xiàn)面向功率半導(dǎo)體的前工序。東芝在生產(chǎn)線(xiàn)正式啟動(dòng)之際，在新生產(chǎn)線(xiàn)廠房所在的石川縣能美市內(nèi)舉行了開(kāi)工典禮。開(kāi)工典禮上，東芝代表執(zhí)行董事社長(zhǎng)西田厚聰?shù)桥_(tái)強(qiáng)調(diào)了該業(yè)務(wù)的重要性：“功率半導(dǎo)體業(yè)務(wù)不同于NAND閃存產(chǎn)品，但為基礎(chǔ)產(chǎn)品”。認(rèn)為此次生產(chǎn)線(xiàn)的啟動(dòng)是東芝的功率半導(dǎo)體業(yè)務(wù)“邁向世界第一的第一步”（西田）。東芝的目標(biāo)是2009年度在金額份額方面成為業(yè)界第一。目前東芝的份額為“第3位”（東芝）。新生產(chǎn)線(xiàn)生產(chǎn)的功率半導(dǎo)體主要為二極管和MOSFET等獨(dú)立部件。東芝認(rèn)為在低耐壓功率MOSFET的推動(dòng)下，功率半導(dǎo)體事業(yè)將進(jìn)一步增長(zhǎng)。儀式上，前首相森喜朗也登臺(tái)亮相，發(fā)表了祝詞。

功率半導(dǎo)體業(yè)務(wù)是東芝半導(dǎo)體公司的離散半導(dǎo)體業(yè)務(wù)的一部分。目前，離散半導(dǎo)體業(yè)務(wù)約占東芝半導(dǎo)體的銷(xiāo)售額的20％，2006年度的銷(xiāo)售額約為2600億日元（圖4）。其中約一半的1300億日元來(lái)自功率半導(dǎo)體業(yè)務(wù)。離散半導(dǎo)體業(yè)務(wù)除此之外還包括小信號(hào)半導(dǎo)體、LED和半導(dǎo)體激光器等光學(xué)半導(dǎo)體等。

此次啟動(dòng)的設(shè)備是負(fù)責(zé)功率半導(dǎo)體前工序的兩大工廠中的一個(gè)。另一個(gè)是東芝的姫路工廠。姫路工廠支持200mm晶圓的生產(chǎn)線(xiàn)目前已經(jīng)投產(chǎn)。加賀東芝電子主要生產(chǎn)低耐壓產(chǎn)品、姫路工廠主要生產(chǎn)高耐壓產(chǎn)品。此外，巖手東芝電子也負(fù)責(zé)前工序中的一部分。

目標(biāo)是月產(chǎn)6萬(wàn)枚

對(duì)于加賀東芝電子來(lái)說(shuō)，此次啟動(dòng)的新生產(chǎn)線(xiàn)為負(fù)責(zé)半導(dǎo)體前工序的第三條生產(chǎn)線(xiàn)。2006年9月動(dòng)工、土建工程2007年3月完成。之后開(kāi)始安裝生產(chǎn)設(shè)備，2007年9月正式啟動(dòng)。計(jì)劃2007年11月開(kāi)始供應(yīng)量產(chǎn)品。比如，面向筆記本電腦等的DC-DC轉(zhuǎn)換器電路用的MOSFET、鋰離子充電電池保護(hù)用的MOSFET等。

此次的啟動(dòng)還只是計(jì)劃中的一部分。目前的生產(chǎn)能力按200mm晶圓換算，相當(dāng)于月產(chǎn)5000枚左右。東芝計(jì)劃2010年度前按200mm晶圓換算，將生產(chǎn)能力提高到月產(chǎn)6萬(wàn)枚。加賀東芝電子將總計(jì)投資約550億日元。

計(jì)劃大體分為三個(gè)階段。首先是2008年度上半年達(dá)到月產(chǎn)約1萬(wàn)枚，第一階段的目標(biāo)是月產(chǎn)2萬(wàn)5000枚。不過(guò)，沒(méi)有公布第二階段之后的計(jì)劃。2～3階段的計(jì)劃還要根據(jù)市場(chǎng)動(dòng)向來(lái)判斷。

分開(kāi)安裝附帶設(shè)備、減小安裝面積

廠房的2層主要安裝生產(chǎn)設(shè)備，1層安裝電源|穩(wěn)壓器設(shè)備等“附屬設(shè)備”。與生產(chǎn)設(shè)備和附屬設(shè)備安裝在同一層相比，可節(jié)省40％的安裝面積。整個(gè)廠房的潔凈度為1萬(wàn)級(jí)，生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)的潔凈度為10級(jí)。無(wú)塵室的空氣調(diào)節(jié)方式采用Ball Room方式。換氣次數(shù)為每小時(shí)56次。

為避免雷擊引起的瞬間電壓降低，計(jì)劃在充電器上配備電雙層電容器的多功能轉(zhuǎn)換器（MPC）。蓄電部位的空間僅為使用鉛蓄電池時(shí)的1/3左右