“這一成功證明我們的MEMS愿景是正確的，幾年前，我們認(rèn)為新型MEMS技術(shù)能夠創(chuàng)造激動(dòng)人心的全新的消費(fèi)應(yīng)用，于是決定集中資源開發(fā)MEMS技術(shù)，”意法半導(dǎo)體產(chǎn)品部門副總裁兼MEMS與健康保健產(chǎn)品、射頻技術(shù)和傳感器產(chǎn)品分部總經(jīng)理Benedetto Vigna表示，“在2006年以前，MEMS傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域很窄，僅限于如安全氣囊碰撞傳感器等少數(shù)應(yīng)用，因?yàn)轶w積龐大，功耗極高，成本昂貴，無法用于消費(fèi)產(chǎn)品?！?/FONT>

通過設(shè)計(jì)開發(fā)新的MEMS結(jié)構(gòu)，獲取新技術(shù)的專利，在保證高性能的同時(shí)，縮小器件尺寸，提高可靠性，降低耗電量，意法半導(dǎo)體解決了前兩個(gè)難題。為解決第三個(gè)難題，公司于2006年邁出大膽的一步，投資4000萬美元建立世界最先進(jìn)的MEMS生產(chǎn)線。 2006年11月，意法半導(dǎo)體在米蘭近郊的Agrate地區(qū)落成一個(gè)200mm（8英寸）晶圓制造廠，專門制造MEMS產(chǎn)品，如加速傳感器、陀螺儀和壓力傳感器。

“得益于半導(dǎo)體器件的同步加工工藝，晶圓片的直徑提高了50%，芯片數(shù)量增加了一倍多，同時(shí)，這種技術(shù)還大幅度降低了芯片的單位成本?！盫igna表示，“意法半導(dǎo)體是世界唯一擁有一條200mm生產(chǎn)線的MEMS廠商，這意味著我們能夠?yàn)榭蛻襞刻峁┚_而可靠的產(chǎn)品，而且價(jià)格滿足他們創(chuàng)造激動(dòng)人心的全新消費(fèi)電子應(yīng)用的要求，這就是我們所做的一切?！?/FONT>

在MEMS線性運(yùn)動(dòng)傳感器取得巨大成功后，意法半導(dǎo)體擴(kuò)大了產(chǎn)品陣容，新增加了微型MEMS陀螺儀。這類傳感器可檢測(cè)傾斜和角速度，特別適合更復(fù)雜的游戲機(jī)、虛擬現(xiàn)實(shí)傳感器、運(yùn)動(dòng)控制、指示設(shè)備，以及汽車導(dǎo)航功能，如航位推算和地圖匹配等。