佳能在200mm晶圓的整個表面上形成了最小半間距（hp）為45nm的無縫線寬和線間距等的納米壓印用石英模具，并在“nano tech 2010（2月17～19日）”上展出。由于采用了KrF曝光設備，價格低于采用電子束光刻設備制造的普通模具。采用此次的技術(shù)制造轉(zhuǎn)印面積為24mm見方的標準模具的售價為60萬日元。而通常這種模具的售價為數(shù)百萬日元。

此次的模具由經(jīng)營編碼器等產(chǎn)品的宇都宮事業(yè)所內(nèi)的光學設備事業(yè)所制造，該部門擁有實現(xiàn)石英晶圓整體表面蝕刻（Etching）均勻性的技術(shù)訣竅。據(jù)稱，除了蝕刻以外，其他技術(shù)均可應用到300mm晶圓上。

納米壓印技術(shù)要實現(xiàn)業(yè)務化，模具制作是一大問題。目前可在較大面積上高速形成無縫納米級圖案的技術(shù)尚未確立。

納米壓印用模具一般采用可高精度形成數(shù)十nm尺寸圖案的電子束光刻設備制造。但處理速度較慢，要制作數(shù)mm見方的模具，需要花費一周以上的時間。因此，數(shù)mm見方的模具制作成本有時會高達數(shù)百萬日元。并且，由于光刻面積較小，針對200mm等大面積晶圓，很難形成無縫圖案。

該公司的技術(shù)可以說是對上述兩個問題提出了一個解決方案。尤其是在應用基于硅或石英晶圓的光學部件時，這種技術(shù)非常有效。

此次的模具是由4mm見方的圖案拼接而成的。拼接精度為±10nm以下。形成圖案時，使用了該公司現(xiàn)有的KrF曝光設備。因模具上形成的圖案尺寸不同，需要采用兩種不同的方法。

hp 75nm的線寬和線間距、最大250nm間距的三角結(jié)構(gòu)網(wǎng)點形狀，可通過一次圖形曝光制作。采用光刻技術(shù)在石英晶圓的光刻膠上形成圖案，并將其用于掩模，然后對石英晶圓進行蝕刻。

形成更小尺寸的圖案時，需要進行二次圖形曝光（Double Patterning）。也就是說，在進行第一次光刻和蝕刻之后，需要錯開一半間距進行第二次光刻和蝕刻。采用這種方法，可形成最小hp為45nm的線寬和線間距。如果是網(wǎng)點形狀，通過采用與二次圖形曝光相似的技術(shù)，可以形成最大160nm間距的四角形狀。

二次圖形曝光存在的課題在于石英晶圓的蝕刻。主要是第一次形成的圖案和第二次形成的圖案深度不同。

關于深度變化控制技術(shù)，除表示采用了制作編碼器等精密光學部件時積累的蝕刻技術(shù)外，該公司未透露更多信息。

避免這一問題的方法，有蝕刻掩模使用硬掩模而非光刻膠。該公司稱，采用這種方法時，雖然可以控制二次圖形曝光過程中的深度變化，但很難確保蝕刻時的面內(nèi)均勻性。（記者：加藤 伸一）