第二天，在天氣晴朗、萬里無云的早晨，我抵達(dá)了MEMS晶圓制造商Okmetic Oyj公司。

Okmetic 公司位在芬蘭的Vantaa。該地目前也正在發(fā)揮群聚效應(yīng)。

在這里，我見到了Okmetic公司的兩位高階主管：

資深產(chǎn)品副總裁Anna-Riikka Vuorikari-Antikainen，以及資深研究副總裁Markku Tilli。

從單晶矽到石墨烯

在與Okmetic CEO Kai Seikku和他的團(tuán)隊(duì)進(jìn)行訪談時(shí)，我們可以看到Okmetic將單晶矽切成矽晶圓的擺設(shè)。

[!--empirenews.page--]

Okmetic公司會議室的擺設(shè)之一。

這次訪談中，Okmetic也談到了該公司最近開始外包晶圓生產(chǎn)的策略(請見MEMS wafer maker Okmetic outsources amid SOI push )，并說明了當(dāng)?shù)馗浇谥饾u形成的MEMS聚落包含了哪些單位。

赫爾辛基周邊的MEMS聚落包括Aalto大學(xué)和VTT研究中心。另外，一些嶄新的材料，如石墨烯，也預(yù)計(jì)將在未來的MEMS發(fā)展中發(fā)揮作用。

赫爾辛基的夜晚

Okmetic 的Anna-Riikka Vuorikari-Antikainen、芬蘭VTT Technical Research Centre的研發(fā)副總裁Jussi Tuovinen；還有Murata Electronics Oy的產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)理Anssi Blomqvist和我，一起花了點(diǎn)時(shí)間游覽了赫爾辛基市區(qū)。

這是由雕塑家Felix Nylund 在1932年發(fā)表的著名「三鐵匠」(Three Smiths)雕像。對面是赫爾辛基最有名的百貨公司Stockmann。

老字號的卡貝里咖啡館(Kappeli coffee)曾是令十九世紀(jì)作曲家Jean Sibelius流連忘返的地方，Jussi Tuovinen表示，Kappeli不但是學(xué)生們熱愛的聚會地點(diǎn)，芬蘭的獨(dú)立思想也誕生于此地。

[!--empirenews.page--]眺望包含了瑞典堡壘和赫爾辛基海港的小島。

ByeBye~~VTI； Hi，村田！

為什么？為什么芬蘭的飯店不能用厚一點(diǎn)的窗簾把光給遮??？答案很簡單，因?yàn)檫@樣一來，無論當(dāng)?shù)鼐用窕蚴怯慰?，都可以感受到凌晨三點(diǎn)直射房內(nèi)的熾熱夏天陽光。

接著，我來到已經(jīng)被村田制作所收購的VTI Technologies Oy公司，該公司現(xiàn)已正式更名為Murata Electronics Oy 。

村田在Vantaa的MEMS制造廠。

Murata Electronics Oy公司總裁Tsuneo Murata自該公司更名第一天起就長駐此地。我曾經(jīng)采訪過他，并寫過一篇有關(guān)村田希望從MEMS朝物聯(lián)網(wǎng)(Internet of Things, IoT)擴(kuò)展的文章。

在村田Vantaa公司大廳內(nèi)展示的村田男孩(Murata-boy)，它能夠平衡地騎在自行車上。

VTT和芬蘭的MEMS聚落

現(xiàn)在，我的芬??蘭MEMS聚落巡禮來到了最后一站──位在Espoo的芬蘭VTT技術(shù)研究中心(VTT Technical Research Centre of Finland)。

這座微奈米研究中心(Micronova)包含了150mm-/200mm晶圓廠，用來支援VTT和Aalto University的多個(gè)研究專案。

[!--empirenews.page--]另外，一家名為VTT Memsfab Ltd.,的小型代工廠也會利用這座晶圓廠來提供服務(wù)。VTT Memsfab成立于2011年1月，隸屬于VTT集團(tuán)旗下。

VTT在MEMS元件的研究方面素負(fù)盛名。VTT的高性能微系統(tǒng)專案領(lǐng)導(dǎo)人Aarne Oja教授負(fù)責(zé)研究矽薄膜MEMS麥克風(fēng)；另外還有資深研究科學(xué)家Jarkko Antila專長于光學(xué)元件和測量技術(shù)。Antila也談到了如何使用基于法布里-珀羅干涉儀(Fabry-Perot Interferometry)原則的MEMS技術(shù)來開發(fā)光學(xué)感測器。

最后，Jussi Tuovinen表示，MEMS領(lǐng)域的所有參與者都應(yīng)該強(qiáng)化合作關(guān)系。過去幾年來，我們已經(jīng)看到所謂的異構(gòu)技術(shù)聯(lián)盟(Heterogeneous Technology Alliance, HTA)成立，近年來更看到VTT和瑞士CSEM、德國Fraunhofer研究院，以及法國CEA-Leti的合作。Tuovinen接著指出，目前HTA已經(jīng)擁有一個(gè)通用的SOI-MEMS平臺。

Tuovinen同時(shí)談到了MEMScat計(jì)畫，該計(jì)畫旨在促成芬蘭建構(gòu)出完整的MEMS生態(tài)系統(tǒng)。這項(xiàng)計(jì)畫的主要目的是盡量協(xié)助新創(chuàng)公司，降低開發(fā)相關(guān)產(chǎn)品及系統(tǒng)的成本和門檻。此外，MEMScat計(jì)畫的另一個(gè)目標(biāo)，則是吸引更多企業(yè)、創(chuàng)業(yè)家和工程人員到芬蘭的MEMS 聚落尋找夢想。

芬蘭的MEMS價(jià)值鏈。/ 資料來源：VTT技術(shù)研究中心

如果我是企業(yè)家或工程師，我會想去赫爾辛基開拓我的MEMS業(yè)務(wù)嗎？是的，不過，他們得先裝上厚一些的窗簾。