根據研調機構IHS iSuppli指出，消費性電子與行動裝置用MEMS營收2011年將達22.5億美元，年成長37%。而MEMS市場在2012-2014年間，預計將有十位數的成長率，2014年營收可達108.1億美元。而研調機構Yole Dveloppement則預估，2016年MEMS市場將達196億美元規(guī)模，出貨量達158億顆。臺灣IC設計業(yè)者如利順、鑫創(chuàng)、旺玖、原相等皆大舉進軍MEMS市場，亞太優(yōu)勢、臺積電、探微在全球前15大MEMS晶圓代工廠的地位更持續(xù)提升，而封測部分則有日月光、京元電、菱生、矽格等。相關制程、測試設備需求龐大。

SEMI臺灣暨東南亞區(qū)總裁曹世綸表示：「MEMS近幾年逐步成熟為一個可驅動自身成長的系統(tǒng)產業(yè)，諸如家庭閘道器（Home gateways）、住家自動化（HA）、新的人機界面（HMI）、即時健康監(jiān)測系統(tǒng)、應用于預防醫(yī)學的生物晶片、內嵌MEMS裝置的智慧衣、能夠連接異質網路的裝置和物聯(lián)網（IoT）等等，都是以MEMS為基礎技術的重要應用。今年SEMICON Taiwan 將串連國內外相關產業(yè)，展示最新產品與應用、技術趨勢發(fā)展。透過『MEMS微系統(tǒng)專區(qū)』、『MEMS論壇』，協(xié)助MEMS產業(yè)厚植研發(fā)及生產實力。」