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[導(dǎo)讀]全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)走入50奈米制程后,浸潤(rùn)式曝光機(jī)臺(tái)(ImmersionScanner)出現(xiàn)大缺貨,尤其是最新款的NXT:1950i機(jī)種上,交期幾乎拉到快12個(gè)月,使得2010年才下訂單的臺(tái)系DRAM廠苦等多時(shí);存儲(chǔ)器業(yè)者透露,爾必達(dá)(Elpida)陣

全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)走入50奈米制程后,浸潤(rùn)式曝光機(jī)臺(tái)(ImmersionScanner)出現(xiàn)大缺貨,尤其是最新款的NXT:1950i機(jī)種上,交期幾乎拉到快12個(gè)月,使得2010年才下訂單的臺(tái)系DRAM廠苦等多時(shí);存儲(chǔ)器業(yè)者透露,爾必達(dá)(Elpida)陣營(yíng)開始轉(zhuǎn)向采購舊機(jī)種XT:1950i應(yīng)急。然美光(Micron)陣營(yíng)則認(rèn)為,舊機(jī)種頂多用到40奈米制程就是極限,不像新機(jī)種NXT:1950i可以一路做到30奈米。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在進(jìn)入50奈米以下制程,都必須開始用ImmersionScanner,此機(jī)器設(shè)備1臺(tái)價(jià)格高達(dá)新臺(tái)幣10億~20億元,過去2年DRAM產(chǎn)業(yè)不景氣時(shí),臺(tái)系廠商根本沒有資金可以去預(yù)定機(jī)臺(tái),因此設(shè)備商ASML現(xiàn)在交貨都以臺(tái)積電、三星電子(SamsungElectronics)、東芝(Toshiba)等大廠為主,臺(tái)灣DRAM廠轉(zhuǎn)制程的進(jìn)度也因此被嚴(yán)重耽擱。

目前4大DRAM陣營(yíng)當(dāng)中,三星和海力士(Hynix)等韓系大廠早已拿到ImmersionScanner機(jī)臺(tái),不但已經(jīng)量產(chǎn)50奈米制程,也開始大量轉(zhuǎn)進(jìn)30奈米,美光陣營(yíng)由于資金充足,ImmersionScanner機(jī)臺(tái)近期也都陸續(xù)到貨,只剩下爾必達(dá)陣營(yíng)的ImmersionScanner機(jī)臺(tái)到位時(shí)程最晚。

存儲(chǔ)器業(yè)者透露,爾必達(dá)陣營(yíng)中的臺(tái)系DRAM廠,日前也決定放棄等待交期長(zhǎng)達(dá)12個(gè)月的新機(jī)種NXT:1950i,轉(zhuǎn)向采購舊機(jī)種XT:1950i,一來不用等太久,二來XT:1950i機(jī)種比NXT:1950i便宜約20%,可以節(jié)省支出費(fèi)用。

然而,ASML新一代的NXT:1950i標(biāo)榜可以因應(yīng)到30奈米制程的技術(shù),且產(chǎn)出速度更快,1小時(shí)?出可達(dá)175~200片晶圓,但舊機(jī)種XT:1950i可能只能因應(yīng)到40奈米制程,屆時(shí)如果要再導(dǎo)入30奈米世代制程,就要再花錢更新機(jī)臺(tái)。

目前兩陣營(yíng)各有各的說詞,美光陣營(yíng)由于資金充裕且預(yù)定的時(shí)間點(diǎn)早,因此策略是傾向是一步到位,全數(shù)都采購最新的NXT:1950i,因應(yīng)美光、南亞科和華亞科計(jì)劃2011年將要開始導(dǎo)入35奈米,屆時(shí)不用再更新機(jī)臺(tái)。

然爾必達(dá)陣營(yíng)確認(rèn)為,舊機(jī)種XT:1950i雖然只能做到40奈米世代,但現(xiàn)在要搶時(shí)效比較重要,ImmersionScanner機(jī)臺(tái)越早進(jìn)入,越可以快速轉(zhuǎn)進(jìn)42奈米制程,拉進(jìn)與同業(yè)間的距離,等到30奈米世代時(shí),其實(shí)只要再補(bǔ)足一些機(jī)臺(tái)就可以繼續(xù)轉(zhuǎn)進(jìn),并不需要全數(shù)更換。

DRAM業(yè)者認(rèn)為,爾必達(dá)陣營(yíng)為了搶時(shí)效采購XT:1950i世代的機(jī)器未必是壞事,如果現(xiàn)在不趕緊轉(zhuǎn)進(jìn)42奈米制程,光是靠63奈米制程支撐,雖然成本結(jié)構(gòu)仍有優(yōu)勢(shì),但卻沒有2Gb產(chǎn)品可以滿足客戶的需要。

DRAM業(yè)者進(jìn)一步分析,爾必達(dá)一向擅長(zhǎng)利用現(xiàn)有制程微縮,以最少的費(fèi)用創(chuàng)造最大的效應(yīng),象是這次從65奈米微縮成的63奈米就是杰作之一,其成本效應(yīng)和50奈米不相上下,但投資金額卻降至最低。

未來到40奈米以下,爾必達(dá)也利用微縮技術(shù)的優(yōu)勢(shì)做了3個(gè)版本的技術(shù),包括40奈米4F2技術(shù)、35奈米和38奈米,屆時(shí)會(huì)看哪里個(gè)制程夠成熟,再選擇量產(chǎn)哪里項(xiàng)技術(shù),若幸運(yùn)的話,XT:1950i在未來1年半之內(nèi)都可以持續(xù)使用,屆時(shí)需要再添購部分的NXT:1950i機(jī)臺(tái)時(shí),ImmersionScanner機(jī)臺(tái)的缺貨荒可以早已解除。

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