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FSI收到重要半導(dǎo)體制造商對(duì)其ORION® 單晶圓清洗技術(shù)的后續(xù)訂單

時(shí)間：2009-01-15 11:35:30

關(guān)鍵字：晶圓單晶半導(dǎo)體制造 RIO

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[導(dǎo)讀]2009年1月，F(xiàn)SI國際有限公司日前宣布收到來自重要半導(dǎo)體制造商的后續(xù)訂單，購買其新推出的ORION® 單晶圓清洗技術(shù)平臺(tái)。該項(xiàng)后續(xù)訂單將為2008年12月23日發(fā)布的訂單的機(jī)臺(tái)提供擴(kuò)充的晶圓清洗量能和性能。這一追加定

2009年1月，F(xiàn)SI國際有限公司日前宣布收到來自重要半導(dǎo)體制造商的后續(xù)訂單，購買其新推出的ORION® 單晶圓清洗技術(shù)平臺(tái)。該項(xiàng)后續(xù)訂單將為2008年12月23日發(fā)布的訂單的機(jī)臺(tái)提供擴(kuò)充的晶圓清洗量能和性能。這一追加定購乃緣于已安裝的ORION機(jī)臺(tái)杰出表現(xiàn)所帶來的鼓舞。ORION系統(tǒng)將被應(yīng)用于后段(BEOL)銅/低K導(dǎo)線制作。

“這項(xiàng)訂單對(duì)我們尤其重要，因?yàn)樗C明了FSI的ORION技術(shù)在制造中的應(yīng)用?！盕SI總裁兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說道?！皩?duì)于我們所推出的用于BEOL 32nm工藝的單晶圓新技術(shù)，該客戶已經(jīng)初步進(jìn)行評(píng)估。他們?cè)?ORION系統(tǒng)性能充分的杰出表現(xiàn)激勵(lì)下，決定擴(kuò)大應(yīng)用至當(dāng)前大量生產(chǎn)線上。該項(xiàng)訂單使我們更加相信，即使在當(dāng)前行業(yè)不景氣的情況下，我們的客戶依舊樂于為新技術(shù)投資，因?yàn)檫@些技術(shù)提供了優(yōu)越的性能和顯著的經(jīng)濟(jì)效益?！?/FONT>

ORION系統(tǒng)特有的閉室設(shè)計(jì)，同時(shí)解決了前段(FEOL)和后段（BEOL）先進(jìn)制造工藝中關(guān)鍵步驟上的清洗問題。

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