應(yīng)用材料接到Silex針對MEMS和TSV應(yīng)用的設(shè)備訂單
瑞典MEMS代工企業(yè)Silex為其新的八英寸線選擇應(yīng)用材料的設(shè)備。訂單包括所有的刻蝕、介質(zhì)CVD、鋁PVD、銅阻擋層種子層的設(shè)備。在量產(chǎn)環(huán)境下滿足MEMS硅刻蝕的需求是Silex的主要目標(biāo)。將來的工作包括由應(yīng)用材料提供工藝和集成技術(shù)幫助Silex建立體硅銅通孔制程。
應(yīng)用材料最近推出針對硅深槽刻蝕的DPS DT+工藝腔，在IC制造廣泛使用的經(jīng)驗證的DPS DT刻蝕工藝基礎(chǔ)上，專為滿足MEMS的DRIE刻蝕要求而設(shè)計。該工藝腔提供適合600微米深度的體硅通孔應(yīng)用的高刻蝕速率以及與光刻膠的高選擇比。該工藝腔與Centura平臺結(jié)合后性能可滿足當(dāng)前及未來的MEMS加工需求。應(yīng)用材料將其成熟的制程工藝帶入MEMS領(lǐng)域，包括6寸8寸的刻蝕、CVD、PVD和CMP技術(shù)。
在應(yīng)用材料內(nèi)部，成立了Mature Technology Solutions (MTS) 以對8寸用戶提供支持。應(yīng)用材料200mm業(yè)務(wù)總經(jīng)理Tom Stepien說該機(jī)構(gòu)的主要目標(biāo)是將公司成熟的半導(dǎo)體工藝拓展到MEMS等成長性市場。
下載文檔（全球TMT2022年10月11日訊）10月10號，彩色星球科技（簡稱：彩星科技）參加在迪拜舉行的2022中東電腦及網(wǎng)絡(luò)信息展GITEX（Gitex Technology Week）。彩星科技設(shè)立專業(yè)展臺，介紹彩色元宇...
關(guān)鍵字： 手機(jī) OPHONE GIT TECHNOLOGY成都2022年10月10日 /美通社/ -- 近期，平安養(yǎng)老險總結(jié)了"五心"服務(wù)，只為做好群眾權(quán)益保護(hù)，提供有溫度的服務(wù)。多年來，平安養(yǎng)老險始終懷揣著守護(hù)"初心"， 惠及"...
關(guān)鍵字： 溫度 互聯(lián)網(wǎng) 信息安全 PS
廠商專欄
熱門文章
- 王騰被小米突然辭退 網(wǎng)友擠爆雷軍評論區(qū)：后者淡定健身
- 曝5家中國車企在澳或面臨4700萬重罰！
- 美國給芯片裝后門方法揭秘后！NVIDIA緊急暫停生產(chǎn)H20芯片
- 我國鋰電池大突破：能量密度和續(xù)航能力提高2-3倍 可量產(chǎn)
- 英偉達(dá)同意H20芯片在中國銷售額15%上交美國：我國回應(yīng)
- OpenAI王炸來了！GPT-5有望明天發(fā)布 免費無限使用
- 周鴻祎談英偉達(dá)芯片是否“留后門”：技術(shù)上很難判斷
- 稚暉君機(jī)器人公司否認(rèn)借殼上市 回應(yīng)：只是收購了一家上市公司
- 新一代國產(chǎn)C86處理器9月見 兼容數(shù)百萬款x86軟件
- 尊湃芯片竊密案宣判：創(chuàng)始人獲刑6年，華為勝訴！
編輯精選
論壇活動
技術(shù)子站
資料下載
技術(shù)學(xué)院
- TrendForce集邦咨詢：受QLC產(chǎn)品熱度的外溢效應(yīng)驅(qū)動，預(yù)計NAND Flash 4Q25價格將上漲5-10%
- TrendForce集邦咨詢: 十一長假將至，LCD電視面板大廠計劃調(diào)降稼動率穩(wěn)運維
- TrendForce集邦咨詢：4Q25 DRAM價格延續(xù)漲勢，服務(wù)器需求提前發(fā)酵、舊制程產(chǎn)品漲幅仍較大
- 一文搞懂如何最大限度降低?uk穩(wěn)壓器的輻射
- PCB板層設(shè)計與電磁兼容性的關(guān)系解析
- 干貨分享！AC/DC與DC/DC轉(zhuǎn)換器的工作原理與應(yīng)用
- PCB板的類型匯總
- 盤點MCU 也需要AI的原因詳解
