ORION系統(tǒng)的三維集群構(gòu)造可提供高產(chǎn)量、高靈活以及最有效的空間使用。在該系統(tǒng)中整合了許多FSI已成熟的核心技術(shù)：線上化學(xué)品混合與控制、活性氣溶膠化學(xué)品和水傳遞、全配方程式控制流程，因此該系統(tǒng)可提供卓越的工藝性能。其模塊化設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)接納多個(gè)閉室的機(jī)型，并可通過(guò)添加模塊來(lái)增加最大產(chǎn)能。

在其全球享有盛譽(yù)的知識(shí)服務(wù)系列研討會(huì)（KSS）亞洲系列活動(dòng)上，F(xiàn)SI正式發(fā)布了這款先進(jìn)的單晶圓清洗系統(tǒng)，表明了該公司對(duì)不斷加快創(chuàng)新速度的亞洲集成電路產(chǎn)業(yè)的高度重視。于2008年11月在上海、首爾、新加坡、新竹和臺(tái)中舉行的系列研討會(huì)，其內(nèi)容專注于可提高各種先進(jìn)技術(shù)制造良率的表面處理工藝。多年來(lái)，F(xiàn)SI的該系列研討會(huì)在上海等地不斷舉行，以及此項(xiàng)創(chuàng)新性單晶圓清洗平臺(tái)產(chǎn)品的發(fā)布，再次表明了該公司愿意與中國(guó)集成電路制造業(yè)共同開(kāi)發(fā)最先進(jìn)工藝技術(shù)的承諾。

FSI國(guó)際有限公司是一家為微電子制造提供表面處理設(shè)備技術(shù)及支持服務(wù)的全球性的供應(yīng)商。通過(guò)使用公司產(chǎn)品組合中的多晶圓批量和單晶圓的浸泡式、旋轉(zhuǎn)噴霧式、汽相和超凝態(tài)過(guò)冷動(dòng)力學(xué)等一整套清洗技術(shù)產(chǎn)品，客戶能夠?qū)崿F(xiàn)他們的工藝性能、靈活性和生產(chǎn)能力目標(biāo)。公司推出的支持服務(wù)項(xiàng)目包括了產(chǎn)品及工藝的提升，從而延長(zhǎng)已安裝的FSI設(shè)備的使用壽命，使世界范圍內(nèi)的客戶的資本投資獲得更高的回報(bào)。