記者從中國電科38所獲悉，經(jīng)過多年技術(shù)攻關(guān)，由該所自主研制的全球首臺(tái)超級(jí)針X 射線成像將在月底開幕第92屆中國(上海)電子展正式發(fā)布。

隨著我國集成電路產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，對(duì)集成電路封裝檢測(cè)裝備需求日益凸顯，而我國此類設(shè)備以中低端產(chǎn)品為主，高端設(shè)備則主要依賴國外進(jìn)口，嚴(yán)重制約了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。目前國際上可生產(chǎn)亞微米級(jí)分辨率設(shè)備主要由美國、日本、歐洲等國家地區(qū)的幾家企業(yè)生產(chǎn)。隨著芯片制造及封裝過程中越來越多地使用輕元素材料，對(duì)設(shè)備應(yīng)用場(chǎng)景要求更加多樣化。更高分辨率、更高對(duì)比度、更大檢測(cè)范圍的X射線檢測(cè)裝備已成為行業(yè)急需。

中國電科38所面向封裝檢測(cè)行業(yè)急需，自主研制了國內(nèi)首個(gè)具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端微焦點(diǎn)X射線成像系統(tǒng)—超級(jí)針X射線成像系統(tǒng)。該系統(tǒng)基本工作原理是通過X射線管產(chǎn)生X射線，利用射線穿過物體過程中吸收和散射衰減性質(zhì)，在圖像增強(qiáng)器上形成被掃描物體的透視圖像。區(qū)別于傳統(tǒng)的 X射線源技術(shù)，該設(shè)備采用國際首創(chuàng)的超級(jí)針X射線源，因而以“超級(jí)針”冠名。

據(jù)悉，超級(jí)針X射線成像系統(tǒng)性能可媲美國際最先進(jìn)產(chǎn)品，系統(tǒng)分辨率小于1微米，同等分辨率下，對(duì)比度是國外產(chǎn)品的3倍以上，成像更清晰，檢測(cè)更可靠，使其具有“火眼金睛”般的缺陷檢測(cè)能力，讓缺陷無所遁形。此外，超級(jí)針X射線成像系統(tǒng)還具備強(qiáng)大的低能成像能力，使其在輕元素材料精密檢測(cè)方面優(yōu)勢(shì)突出，遠(yuǎn)超國外同類產(chǎn)品，填補(bǔ)國際空白。目前，中國電科38所針對(duì)該產(chǎn)品及相關(guān)技術(shù)，已申請(qǐng)20余項(xiàng)國內(nèi)外發(fā)明專利，其中11項(xiàng)已獲得授權(quán)。

中國電科38所相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，超級(jí)針X射線成像系統(tǒng)為國際首創(chuàng)，標(biāo)志我國在此領(lǐng)域已位于世界前列，將有助于提升我國集成電路封裝檢測(cè)技術(shù)水平，尤其是在輕元素材料精密檢測(cè)方面，具有強(qiáng)大的國際競(jìng)爭(zhēng)力。