[導(dǎo)讀]作為芯片生產(chǎn)過程中最關(guān)鍵設(shè)備的光刻機，有著極高的技術(shù)壁壘，有“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠”之稱，代表著人類文明的智慧結(jié)晶。在芯片這樣一個爭分奪秒的行業(yè)里，時間就是金錢。據(jù)ASML官方介紹，ASML也一直在追求光刻機極致的速度，目前最先進(jìn)的DUV光刻機，每小時可以完成300片晶圓的光刻...
作為芯片生產(chǎn)過程中最關(guān)鍵設(shè)備的光刻機，有著極高的技術(shù)壁壘，有“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠”之稱，代表著人類文明的智慧結(jié)晶。在芯片這樣一個爭分奪秒的行業(yè)里，時間就是金錢。據(jù)ASML官方介紹，ASML也一直在追求光刻機極致的速度，目前最先進(jìn)的DUV光刻機，每小時可以完成300片晶圓的光刻生產(chǎn)。換算一下，完成一整片晶圓只需要12秒，這還得扣除掉晶圓交換和定位的時間，實際光刻時間要更短。而一片晶圓的光刻過程，需要在晶圓上近100個不同的位置成像電路圖案，所以完成1個影像單元（Field）的曝光成像也就約0.1秒。要實現(xiàn)這個成像速度，晶圓平臺在以高達(dá)7g的加速度高速移動。F1賽車從0到100km/h加速約需要2.5秒，而晶圓平臺的7g加速度，若從0加速到100km/h只要約0.4秒。DUV是深紫外線，EUV是極深紫外線。從制程工藝來看，DUV只能用于生產(chǎn)7nm及以上制程芯片。而只有EUV能滿足7nm晶圓制造，并且還可以向5nm、3nm繼續(xù)延伸。一分鐘看懂芯片制造全過程↓↓↓芯片制造是一層層向上疊加的，最高可達(dá)上百次疊加。每一次的疊加，都必須和前一次完美重疊，重疊誤差要求是1~2納米。而晶圓從傳送模組放置在晶圓平臺上，會產(chǎn)生一定的機械誤差，而精密機械的誤差是微米等級（1微米=1,000納米）。每次曝光之前，必須針對每片晶圓做精密的量測，截取到晶圓每一個區(qū)塊納米等級的微小誤差。在曝光階段實時校正，達(dá)到納米等級的準(zhǔn)度。光刻機以極高的加速度進(jìn)行掃描曝光，在不到0.1秒的時間，又要急停并回頭往反方向掃描，這么大的力量如果不做控制，會讓整機產(chǎn)生振動，是不可能達(dá)到完美成像的。ASML光刻機利用所謂的balance mass來吸收平衡晶圓平臺所施加于機座的反作用力，使整座機臺完全靜止。我們國產(chǎn)自主研發(fā)也突破了光刻機設(shè)備上非常多的核心零部件，包括雙工件臺、物鏡系統(tǒng)、浸沒系統(tǒng)和光源系統(tǒng)等等。雙工件臺由華卓精科負(fù)責(zé)，上海微電子也能提供整機裝備，光源系統(tǒng)有望通過中科院的高能同步輻射光源設(shè)備來解決。在國產(chǎn)光刻機領(lǐng)域，先是中科院的高能同步輻射光源設(shè)備，然后是中科科美的兩大鍍膜裝置，分別可以解決國產(chǎn)光刻機在光源以及光學(xué)鏡頭的需求。由中科院高能物理研究所參與承建的高能同步輻射光源設(shè)備，已經(jīng)實現(xiàn)安裝。這項高能同步輻射光源也被央視公開“點名”，用了較長篇幅進(jìn)行報道。中科科美分別研制了直線式勞埃透鏡鍍膜裝置和納米聚焦鏡鍍膜裝置。這兩項裝置主要面向光刻機的鏡頭配備，有了這些鍍膜裝置，可以很大程度提高國產(chǎn)光刻機在光學(xué)鏡頭上的水準(zhǔn)。雖然我們制造出整臺EUV光刻機還有一段距離，但是隨著每一項技術(shù)的進(jìn)步，都在奠定國產(chǎn)光刻機的未來，加速國產(chǎn)光刻機的發(fā)展。而且推動了國產(chǎn)光刻機從成熟工藝到高端工藝的邁進(jìn)。一旦成功掌握，中國可能會生產(chǎn)出更便宜，成本更低的光刻機設(shè)備。事實證明，外界的限制因素只會讓國產(chǎn)科技發(fā)展得更快，沒有什么力量是可以阻止國產(chǎn)科技崛起的。對國產(chǎn)光刻機你有什么看法呢？END
本站聲明： 本文章由作者或相關(guān)機構(gòu)授權(quán)發(fā)布，目的在于傳遞更多信息，并不代表本站贊同其觀點，本站亦不保證或承諾內(nèi)容真實性等。需要轉(zhuǎn)載請聯(lián)系該專欄作者，如若文章內(nèi)容侵犯您的權(quán)益，請及時聯(lián)系本站刪除。
9月2日消息，不造車的華為或?qū)⒋呱龈蟮莫毥谦F公司，隨著阿維塔和賽力斯的入局，華為引望愈發(fā)顯得引人矚目。
關(guān)鍵字：
阿維塔
塞力斯
華為
加利福尼亞州圣克拉拉縣2024年8月30日 /美通社/ -- 數(shù)字化轉(zhuǎn)型技術(shù)解決方案公司Trianz今天宣布，該公司與Amazon Web Services （AWS）簽訂了...
關(guān)鍵字：
AWS
AN
BSP
數(shù)字化
倫敦2024年8月29日 /美通社/ -- 英國汽車技術(shù)公司SODA.Auto推出其旗艦產(chǎn)品SODA V，這是全球首款涵蓋汽車工程師從創(chuàng)意到認(rèn)證的所有需求的工具，可用于創(chuàng)建軟件定義汽車。 SODA V工具的開發(fā)耗時1.5...
關(guān)鍵字：
汽車
人工智能
智能驅(qū)動
BSP
北京2024年8月28日 /美通社/ -- 越來越多用戶希望企業(yè)業(yè)務(wù)能7×24不間斷運行，同時企業(yè)卻面臨越來越多業(yè)務(wù)中斷的風(fēng)險，如企業(yè)系統(tǒng)復(fù)雜性的增加，頻繁的功能更新和發(fā)布等。如何確保業(yè)務(wù)連續(xù)性，提升韌性，成...
關(guān)鍵字：
亞馬遜
解密
控制平面
BSP
8月30日消息，據(jù)媒體報道，騰訊和網(wǎng)易近期正在縮減他們對日本游戲市場的投資。
關(guān)鍵字：
騰訊
編碼器
CPU
8月28日消息，今天上午，2024中國國際大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)博覽會開幕式在貴陽舉行，華為董事、質(zhì)量流程IT總裁陶景文發(fā)表了演講。
關(guān)鍵字：
華為
12nm
EDA
半導(dǎo)體
8月28日消息，在2024中國國際大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)博覽會上，華為常務(wù)董事、華為云CEO張平安發(fā)表演講稱，數(shù)字世界的話語權(quán)最終是由生態(tài)的繁榮決定的。
關(guān)鍵字：
華為
12nm
手機
衛(wèi)星通信
要點： 有效應(yīng)對環(huán)境變化，經(jīng)營業(yè)績穩(wěn)中有升 落實提質(zhì)增效舉措，毛利潤率延續(xù)升勢 戰(zhàn)略布局成效顯著，戰(zhàn)新業(yè)務(wù)引領(lǐng)增長 以科技創(chuàng)新為引領(lǐng)，提升企業(yè)核心競爭力 堅持高質(zhì)量發(fā)展策略，塑強核心競爭優(yōu)勢...
關(guān)鍵字：
通信
BSP
電信運營商
數(shù)字經(jīng)濟
北京2024年8月27日 /美通社/ -- 8月21日，由中央廣播電視總臺與中國電影電視技術(shù)學(xué)會聯(lián)合牽頭組建的NVI技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟在BIRTV2024超高清全產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展研討會上宣布正式成立。 活動現(xiàn)場 NVI技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)...
關(guān)鍵字：
VI
傳輸協(xié)議
音頻
BSP
北京2024年8月27日 /美通社/ -- 在8月23日舉辦的2024年長三角生態(tài)綠色一體化發(fā)展示范區(qū)聯(lián)合招商會上，軟通動力信息技術(shù)（集團(tuán)）股份有限公司（以下簡稱"軟通動力"）與長三角投資（上海）有限...
關(guān)鍵字：
BSP
信息技術(shù)
山海路引?嵐悅新程 三亞2024年8月27日 /美通社/ --?近日，海南地區(qū)六家凱悅系酒店與中國高端新能源車企嵐圖汽車（VOYAH）正式達(dá)成戰(zhàn)略合作協(xié)議。這一合作標(biāo)志著兩大品牌在高端出行體驗和環(huán)保理念上的深度融合，將...
關(guān)鍵字：
新能源
BSP
PLAYER
ASIA
上海2024年8月28日 /美通社/ -- 8月26日至8月28日，AHN LAN安嵐與股神巴菲特的孫女妮可?巴菲特共同開啟了一場自然和藝術(shù)的療愈之旅。 妮可·巴菲特在療愈之旅活動現(xiàn)場合影 ...
關(guān)鍵字：
MIDDOT
BSP
LAN
SPI
8月29日消息，近日，華為董事、質(zhì)量流程IT總裁陶景文在中國國際大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)博覽會開幕式上表示，中國科技企業(yè)不應(yīng)怕美國對其封鎖。
關(guān)鍵字：
華為
12nm
EDA
半導(dǎo)體
上海2024年8月26日 /美通社/ -- 近日，全球領(lǐng)先的消費者研究與零售監(jiān)測公司尼爾森IQ（NielsenIQ）迎來進(jìn)入中國市場四十周年的重要里程碑，正式翻開在華發(fā)展新篇章。自改革開放以來，中國市場不斷展現(xiàn)出前所未有...
關(guān)鍵字：
BSP
NI
SE
TRACE
上海2024年8月26日 /美通社/ -- 第二十二屆跨盈年度B2B營銷高管峰會(CC2025)將于2025年1月15-17日在上海舉辦，本次峰會早鳥票注冊通道開啟，截止時間10月11日。 了解更多會議信息：cc.co...
關(guān)鍵字：
BSP
COM
AI
INDEX
上海2024年8月26日 /美通社/ -- 今日，高端全合成潤滑油品牌美孚1號攜手品牌體驗官周冠宇，開啟全新旅程，助力廣大車主通過駕駛?cè)ヌ剿鞲鼜V闊的世界。在全新發(fā)布的品牌視頻中，周冠宇及不同背景的消費者表達(dá)了對駕駛的熱愛...
關(guān)鍵字：
BSP
汽車制造
此次發(fā)布標(biāo)志著Cision首次為亞太市場量身定制全方位的媒體監(jiān)測服務(wù)。 芝加哥2024年8月27日 /美通社/ -- 消費者和媒體情報、互動及傳播解決方案的全球領(lǐng)導(dǎo)者Cis...
關(guān)鍵字：
CIS
IO
SI
BSP
上海2024年8月27日 /美通社/ -- 近來，具有強大學(xué)習(xí)、理解和多模態(tài)處理能力的大模型迅猛發(fā)展，正在給人類的生產(chǎn)、生活帶來革命性的變化。在這一變革浪潮中，物聯(lián)網(wǎng)成為了大模型技術(shù)發(fā)揮作用的重要陣地。 作為全球領(lǐng)先的...
關(guān)鍵字：
模型
移遠(yuǎn)通信
BSP
高通
北京2024年8月27日 /美通社/ -- 高途教育科技公司（紐約證券交易所股票代碼：GOTU）（"高途"或"公司"），一家技術(shù)驅(qū)動的在線直播大班培訓(xùn)機構(gòu)，今日發(fā)布截至2024年6月30日第二季度未經(jīng)審計財務(wù)報告。 2...
關(guān)鍵字：
BSP
電話會議
COM
TE
8月26日消息，華為公司最近正式啟動了“華為AI百校計劃”，向國內(nèi)高校提供基于昇騰云服務(wù)的AI計算資源。
關(guān)鍵字：
華為
12nm
EDA
半導(dǎo)體
下載文檔
