Intel全力押注EUV工藝?爭(zhēng)取首發(fā)下代高NA光刻機(jī)
Intel這幾年在工藝進(jìn)度上落后跟10nm、7nm工藝多次跳票有關(guān),而新工藝延期也跟Intel此前不考慮EUV工藝有關(guān),所以10nm工藝才上了四重曝光,導(dǎo)致良率上不去,遲遲無(wú)法量產(chǎn)。
Intel之前認(rèn)為EUV工藝不夠成熟,現(xiàn)在EUV光刻工藝已經(jīng)量產(chǎn)幾年了,Intel也開(kāi)始跟進(jìn)了,原先的7nm工藝、現(xiàn)在的Intel 4工藝會(huì)是全面使用EUV光刻機(jī)的開(kāi)始,首款產(chǎn)品是Meteor Lake流星湖,2023年發(fā)布。
之后的Intel 3工藝、Intel 20A工藝上也會(huì)持續(xù)利用EUV工藝,進(jìn)一步提升性能及能效。
再往后Intel還會(huì)積極跟進(jìn)EUV技術(shù)發(fā)展,2025年之后的工藝已經(jīng)規(guī)劃到了Intel 18A,將使用第二代RibbonFET晶體管,EUV光刻機(jī)也會(huì)有一次重大升級(jí)。
Intel表示致力于定義、構(gòu)建和部署下一代High-NA EUV,有望率先獲得業(yè)界第一臺(tái)High-NA EUV光刻機(jī)。
Intel目前正與ASML密切合作,確保這一行業(yè)突破性技術(shù)取得成功,超越當(dāng)前一代EUV。
這就意味著Intel很有可能首發(fā)下一代EUV光刻機(jī),NA數(shù)值孔徑從目前的0.33提升到0.5,這是ASML的NXE:5000系列,之前預(yù)計(jì)是在2023年問(wèn)世,現(xiàn)在推遲到了2025-2026年,單臺(tái)售價(jià)預(yù)計(jì)將超過(guò)3億美元,差不多人民幣20億一臺(tái)。
Intel為了超越臺(tái)積電、三星重返半導(dǎo)體技術(shù)一哥,現(xiàn)在可以說(shuō)是拼了老命了,對(duì)玩家來(lái)說(shuō)這倒是好事,以往的帶頭大哥回來(lái)了。
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