LiDAR（激光雷達）最早起源于60年代，是Light和Radar兩個詞的組合，從命名上就可以看出其基礎(chǔ)的工作原理——采用類似無線電檢測的方式，向待測對象發(fā)射光，測量其返回的時間差來計算距離。隨著LiDAR技術(shù)的不斷發(fā)展， 近年來被廣泛應(yīng)用在iPhone和自動駕駛汽車中實現(xiàn)對環(huán)境3D感知，從而被大眾所熟知。

據(jù)Yole的預(yù)測到2025年的LiDAR整體市場規(guī)模將達到38億美金，從2019年到2025年復合增長率約為19%。隨著LiDAR應(yīng)用整體成本的降低，在機器人、自動駕駛和工業(yè)等普及率會越來越高。

LiDAR系統(tǒng)：光電、模擬和數(shù)字的結(jié)合

一個典型的LiDAR系統(tǒng)中包含光電芯片、光學結(jié)構(gòu)、模擬電路、數(shù)字電路和主控單元等：光源的部分采用脈沖激光二極管用來發(fā)射脈沖光信號，后端有相應(yīng)的開關(guān)和驅(qū)動芯片以及電路設(shè)計；發(fā)出的光需要經(jīng)過一定的光學結(jié)構(gòu)來進行整理；接收光的部分是成像單元，同樣也需要譬如PD（光電二極管）、APD（雪崩二極管）或SPD（單光子雪崩二極管）等光電器件，以及后端的信號轉(zhuǎn)換電路；然后根據(jù)ToF的處理方式不同，后面又會經(jīng)過TDC或者相位比較，最終高所有的數(shù)據(jù)會經(jīng)過控制單元（SoC/MCU等）來進行處理。下圖即一個dToF類型的LiDAR系統(tǒng)的具體示例。

對于LiDAR應(yīng)用而言，探測的精度、距離、范圍、分辨率等是最關(guān)鍵詞的性能指標，針對三者的取舍要依據(jù)具體的應(yīng)用場景來選擇不同的技術(shù)方案。而落實到系統(tǒng)層面，功耗和成本也是需要考慮的重要因素，因此目前LiDAR的技術(shù)也非常豐富，各家技術(shù)路線也都有所差異。但從上圖的LiDAR的系統(tǒng)解構(gòu)中我們可以看到，光源在整個系統(tǒng)中是最基礎(chǔ)的器件之一、起到了最為關(guān)鍵的作用；光源的性能將直接影響到整體的表現(xiàn)。

在近日ROHM在北京召開了發(fā)布會，針對LiDAR的光源技術(shù)進行了分享，本文也將從這一角度來進行重點的剖析。

LiDAR的主流光電器件：FPLD與VCSEL

光源有LED、Vcsel、FP型激光二極管等類型，其中LiDAR所需的脈沖光信號，主要有Vcsel和FPLD兩種光學器件，分別對應(yīng)著不同的3DToF應(yīng)用高。據(jù)羅姆北京技術(shù)中心工程師吳波先生分享，F(xiàn)PLD也叫做邊發(fā)射型的LD，主要應(yīng)用于旋轉(zhuǎn)式3DToF。邊發(fā)射型LD發(fā)出的激光經(jīng)過透鏡整形之后打到多棱鏡上去，多棱鏡360度不停旋轉(zhuǎn)，進行一個全方位的掃描。這種測距方式因為聚光性較好，所以測距比較遠，可以達到100米以上。分辨率取決于機械元件掃描速度。VCSEL則應(yīng)用于照射型3DToF——VCSEL發(fā)出的光經(jīng)過一個擴散板，例如擴散到120度左右的水平角，在120度水平角里面進行一個物體的掃描。照射型的3DToF一般來說分辨率比較好，但是因為光能量比較分散，用來做長距離測距較為困難一些。

FPLD和VCSEL的光傳導路徑也截然不同，如下圖所示FPLD的光信號是從芯片的側(cè)面發(fā)射出來的，而VCSEL的光信號則是從芯片的上表面照射出來的，不同的發(fā)光方式在其進行系統(tǒng)集成的時候，光源的布置方式也有所差異。

發(fā)射功率、光波長度、波長溫飄、調(diào)制頻率、光電轉(zhuǎn)換率和線寬燈是發(fā)光器件尤為重要的參數(shù)，這也對于LiDAR系統(tǒng)整體的探測能力有著直接的影響。

據(jù)悉ROHM從1984年就實現(xiàn)了780nm FPLD的量產(chǎn) ，此后經(jīng)過30多年技術(shù)發(fā)展和沉淀。如上圖所示，ROHM以往的激光二極管產(chǎn)品布局集中于635nm～780nm、100mW功率以下的產(chǎn)品，而目前波長已經(jīng)擴展到820～905nm、功率等級提高到了25W和75W。吳波先生表示，ROHM的激光器未來發(fā)展方向有兩個：一個是905nm的大功率FPLD系列，一個是VCSEL會在4W以下和100W以上兩個方向上拓寬產(chǎn)品線。

超窄線寬、光形、溫度依存性如何影響LiDAR的性能

在上文中已經(jīng)提及到了激光器的諸多參數(shù)指標，但其中尤其是線寬對于性能的影響很多人可能并不清楚。近日ROHM推出的75W等級的FPLD產(chǎn)品RLD90QZW3，即實現(xiàn)了行業(yè)內(nèi)超窄的225μｍ發(fā)光線寬。因為FPLD的發(fā)射光線需要先經(jīng)過透鏡整形成平行光之后再打出去進行掃描檢測，所以激光器本身線寬越窄，經(jīng)過透鏡之后的平行光斑就越小，光斑中心部分的光強就越強，所以探測的距離也就更遠，精度更高。RLD90QZW3激光器的線寬足夠窄，對于激光雷達應(yīng)用是一個非常好的特點。

激光雷達的性能穩(wěn)定性也需要激光器的支持才可以更好的實現(xiàn)，從激光器角度來看，出光光形和溫度依存性是兩個重要指標。除了線寬窄之外，RLD90QZW3的另一個優(yōu)勢在于其出光的光形非常好。如下圖所示，在整個線寬范圍內(nèi)的發(fā)光強度相比傳統(tǒng)產(chǎn)品更均勻，在發(fā)光部邊緣處的發(fā)光強度并沒有明顯的降低和衰減，可以幫助激光雷達實現(xiàn)更高精度性能。此外RLD90QZW3的隨溫漂移性能也較為突出，溫度依存相較普通產(chǎn)品提高了40%。從LiDAR系統(tǒng)角度來分析，感光測（成像側(cè)）只能允許某一波長范圍內(nèi)的光通過，所以光的波長在不同溫度下變化越小，則激光雷達的性能就會越穩(wěn)定。因此RLD90QZW3的低溫度依存特性可以保證LiDAR實現(xiàn)更穩(wěn)定的成像檢測。

在追求線寬的同時，PCE（光電轉(zhuǎn)換效率）就會降低。但ROHM的RLD90QZW3并沒有在PCE上妥協(xié)——在75W功率等級產(chǎn)品中實現(xiàn)超窄線寬的同時，PCE性能實現(xiàn)了和普通產(chǎn)品一致的21%的表現(xiàn)。因此客戶在該功率等級的LiDAR系統(tǒng)上追求更長探測距離的同時，并不需要收到功耗的困擾。

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如何實現(xiàn)的超窄線寬、優(yōu)秀的出光光形還不影響PCE？ROHM表示這得益于其專利的生產(chǎn)工藝和垂直統(tǒng)一的成產(chǎn)體制。優(yōu)勢工藝包括基于MOCVD的自有晶體生長技術(shù)和Wet-Dry蝕刻相結(jié)合的精細化加工技術(shù)；而從設(shè)計到封測垂直的統(tǒng)一成產(chǎn)體制保證了其產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定。具體的技術(shù)細節(jié)并不能夠透露，但據(jù)悉其全新的光子晶體激光二極管產(chǎn)品也正在研發(fā)中。