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[導讀]隨著社會的快速發(fā)展,我們的壓阻式傳感器也在快速發(fā)展,那么你知道壓阻式傳感器的詳細資料解析嗎?接下來讓小編帶領大家來詳細地了解有關的知識。

隨著社會的快速發(fā)展,我們的壓阻式傳感器也在快速發(fā)展,那么你知道壓阻式傳感器的詳細資料解析嗎?接下來讓小編帶領大家來詳細地了解有關的知識。

壓阻式傳感器原理

壓阻式傳感器是指利用單晶硅材料的壓阻效應和集成電路技術制成的傳感器。單晶硅材料受力后,電阻率發(fā)生變化,通過測量電路可以得到與力變化成正比的電信號輸出。壓阻式傳感器用于壓力、張力、壓差和其他可以轉化為力的變化的物理量(如液位、加速度、重量、應變、流量和真空)的測量和控制。

壓阻式傳感器是基于半導體材料的壓阻效應,在半導體材料基板上通過擴散電阻制成的器件?;蹇芍苯佑米鳒y量傳感器元件,擴散電阻在基板中以橋的形式連接。當基板受外力變形時,電阻值會發(fā)生變化,電橋會產生相應的不平衡輸出。用作壓阻傳感器的基板(或隔膜)材料主要是硅片和鍺片。以硅片為敏感材料制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的關注,尤其是在壓力測量方面。固態(tài)壓阻式傳感器以速度和速度的應用最為普遍。

壓阻式傳感器的應用

壓阻式傳感器廣泛應用于航天、航空、航海、石油化工、動力機械、生物醫(yī)學工程、氣象、地質、地震測量等領域。壓力是航天航空工業(yè)中的關鍵參數,對靜、動壓力、分壓和整個壓力場的測量要求高精度。壓阻式傳感器是用于此目的的理想傳感器。例如,用于測量直升機機翼氣流壓力分布,測試發(fā)動機進氣的動態(tài)畸變、葉柵脈動壓力、機翼抖動等。在飛機噴氣發(fā)動機中心壓力的測量中,采用了專門設計的硅壓力傳感器,其工作溫度在500℃以上。波音客機的空氣數據測量系統采用了匹配精度高達0.05%的硅壓力傳感器。在縮小風洞模型試驗中,壓阻傳感器可密集安裝在風洞入口處和發(fā)動機進氣管模型中。

單個傳感器直徑僅為2.36 mm,固有頻率高達300kHz,非線性和遲滯均為滿量程的±0.22%。在生物醫(yī)學中,壓阻式傳感器也是理想的檢測工具。已制造出具有薄至10微米、外徑僅為0.5毫米的擴散硅膜的注射針式壓阻式壓力傳感器,并能夠測量心血管、顱內、尿道、子宮和眼球中的壓力。圖3是一種用于測量腦壓的傳感器的結構圖。壓阻式傳感器還有效地用于爆炸壓力和沖擊波的測量、真空測量、汽車發(fā)動機性能的監(jiān)測和控制,以及測量槍管壓力和發(fā)射沖擊波等武器的測量。此外,壓阻式傳感器廣泛應用于油井壓力測量、隨鉆測向和地下密封電纜故障點定位檢測,以及流量和液位測量。隨著微電子技術和計算機的進一步發(fā)展,壓阻式傳感器的應用也將得到迅速發(fā)展。

壓阻式傳感器為什么會產生溫度誤差?如何補償?

壓阻式傳感器有兩種類型:一種是利用半導體材料的電阻制成粘性應變片,形成半導體應變傳感器;另一種是利用集成電路技術在半導體材料基板上制作擴散電阻,構成敏感元件,稱為擴散型壓阻傳感器。

壓阻式傳感器受溫度影響很大,會產生零漂和靈敏度漂移,從而導致溫度誤差。在壓阻式傳感器中,擴散電阻的溫度系數較大,阻值隨溫度變化,造成傳感器的零漂。

傳感器靈敏度的溫度漂移是由壓阻系數隨溫度變化引起的。當溫度升高時,壓阻系數變小,傳感器的靈敏度降低。反之,靈敏度增加。零溫漂一般可以通過串并聯電阻的方法來補償。通過在電橋的電源電路中串聯二極管來補償靈敏度溫漂。此外,壓阻式傳感器還可以將四個擴散電阻連接成一個全橋。為減少溫度的影響,可采用恒流源供電。

可以看出,電橋的輸出與電阻變化成正比,即與測量值成正比,也與電源電流成正比。輸出電壓與恒流源電流的大小和精度有關,而與溫度無關,所以恒流源有很多很好的溫度補償。

以上就是壓阻式傳感器的有關知識的詳細解析,需要大家不斷在實際中積累經驗,這樣才能設計出更好的產品,為我們的社會更好地發(fā)展。

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