氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制，大量應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域。金屬密封大流量氣體質(zhì)量流量控制器，在CVD、PVD、清洗機(jī)等設(shè)備上起著關(guān)鍵作用，但它的技術(shù)壁壘高、開發(fā)難度大，導(dǎo)致長期依賴進(jìn)口。

北京七星華創(chuàng)流量計(jì)有限公司作為一家專注流量測控領(lǐng)域40余年的企業(yè)，為打破這一局面，組建了金屬密封大流量項(xiàng)目攻關(guān)團(tuán)隊(duì)，耗時(shí)20個(gè)月，終于在2020年8月完成了CS330金屬密封大流量產(chǎn)品的研發(fā)工作，經(jīng)過半導(dǎo)體行業(yè)客戶驗(yàn)證后逐步優(yōu)化，最終走向產(chǎn)業(yè)化。

金屬密封大流量CS330產(chǎn)品研發(fā)不斷創(chuàng)新。在部件選擇上，采用了全金屬密封大流量調(diào)節(jié)閥和大流量分流器，并選用體積小、零漂小、抗干擾能力強(qiáng)的傳感器，從根本上夯實(shí)了產(chǎn)品基底;在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上，采取了新型金屬密封結(jié)構(gòu)，不僅密封更可靠，還降低了裝配難度，保證了產(chǎn)品的一致性;在技術(shù)創(chuàng)新上，新型低噪聲、高抗干擾信號(hào)的傳感器驅(qū)動(dòng)技術(shù)，增強(qiáng)了產(chǎn)品的抗干擾能力，提高了產(chǎn)品的準(zhǔn)確度及穩(wěn)定性;在生產(chǎn)制造上，采用了高精密金屬加工及表面處理技術(shù)，采用機(jī)器人對(duì)零件進(jìn)行表面拋光，保證表面粗糙度一致性的同時(shí)，提高了生產(chǎn)效率。

隨著半導(dǎo)體設(shè)備需求的增長，金屬密封大流量MFC產(chǎn)品的需求量也隨之增長，目前北方華創(chuàng)作為創(chuàng)新主體已經(jīng)行動(dòng)起來，未來將繼續(xù)依靠創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)和高質(zhì)量生產(chǎn)，引領(lǐng)和創(chuàng)造新的產(chǎn)業(yè)增長極。

人工智能的機(jī)器人、拋光部件