氣體質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制，大量應用于半導體領域。金屬密封大流量氣體質量流量控制器，在CVD、PVD、清洗機等設備上起著關鍵作用，但它的技術壁壘高、開發(fā)難度大，導致長期依賴進口。

北京七星華創(chuàng)流量計有限公司作為一家專注流量測控領域40余年的企業(yè)，為打破這一局面，組建了金屬密封大流量項目攻關團隊，耗時20個月，終于在2020年8月完成了CS330金屬密封大流量產品的研發(fā)工作，經過半導體行業(yè)客戶驗證后逐步優(yōu)化，最終走向產業(yè)化。

金屬密封大流量CS330產品研發(fā)不斷創(chuàng)新。在部件選擇上，采用了全金屬密封大流量調節(jié)閥和大流量分流器，并選用體積小、零漂小、抗干擾能力強的傳感器，從根本上夯實了產品基底;在結構設計上，采取了新型金屬密封結構，不僅密封更可靠，還降低了裝配難度，保證了產品的一致性;在技術創(chuàng)新上，新型低噪聲、高抗干擾信號的傳感器驅動技術，增強了產品的抗干擾能力，提高了產品的準確度及穩(wěn)定性;在生產制造上，采用了高精密金屬加工及表面處理技術，采用機器人對零件進行表面拋光，保證表面粗糙度一致性的同時，提高了生產效率。

隨著半導體設備需求的增長，金屬密封大流量MFC產品的需求量也隨之增長，目前北方華創(chuàng)作為創(chuàng)新主體已經行動起來，未來將繼續(xù)依靠創(chuàng)新驅動和高質量生產，引領和創(chuàng)造新的產業(yè)增長極。

人工智能的機器人、拋光部件