1984年的時(shí)候，光刻機(jī)巨頭ASML曾在一天之內(nèi)設(shè)定產(chǎn)品路線圖，這段往事值得我們好好回味。

1984年11月中旬，ASML經(jīng)理、高級工程師坐上大巴，往北行駛。20人在維多利亞酒店（位于凡高國家森林公園附近）呆了2天，進(jìn)行團(tuán)隊(duì)建設(shè)、培訓(xùn)。他們要奮力追趕，加速前進(jìn)。總之，大家的目標(biāo)就是讓新機(jī)器早一點(diǎn)做好準(zhǔn)備。

當(dāng)時(shí)飛利浦半導(dǎo)體和材料部(以下簡稱Elcoma)希望能在1986年4月1日拿到PAS 2500光刻機(jī)，然后ASML想在國際半導(dǎo)體展覽會Semicon West上展示機(jī)器。也就是說ASML只有一年多的時(shí)間設(shè)計(jì)、制造新系統(tǒng)。ASML總經(jīng)理Gjalt Smit給團(tuán)隊(duì)定出最后期限：1986年1月1日。高管們討論著如何讓計(jì)劃變成現(xiàn)實(shí)。

前兩代機(jī)器均為接觸接近式光刻機(jī)，曝光方式為接觸接近式，使用光源分別為g-line和i-line。從80年代開始芯片產(chǎn)業(yè)使用的是g-line，ASML要引入i-line。當(dāng)時(shí)ASML已經(jīng)挑選好了技術(shù)，也就是i-line，接下來要全速前進(jìn)。

培訓(xùn)開始的第一天，兩名來自飛利浦的培訓(xùn)員講課，他們告訴大家如何以更快的速度將創(chuàng)意變成機(jī)器。如果是在飛利浦，整個(gè)流程一般要9-12年時(shí)間，這次他們拿出新方案，可以將時(shí)間縮短為7年。不過如果ASML想達(dá)到Elcoma設(shè)定的目標(biāo)，擁有的時(shí)間只有一年多。

第二天，培訓(xùn)繼續(xù)，但Gjalt Smit闖了進(jìn)來，他告訴大家培訓(xùn)結(jié)束了。就在前一天晚上，Gjalt Smit剛拜訪完美國客戶，坐飛機(jī)回來。他說：沒有時(shí)間了，整個(gè)團(tuán)隊(duì)必須重新思考產(chǎn)品路線圖。

Gjalt Smit指出，如果繼續(xù)開發(fā)i-line光刻機(jī)，公司也許可以成為科技領(lǐng)先者，但這樣的機(jī)器不會有人買，因?yàn)檎麄€(gè)行業(yè)的基礎(chǔ)設(shè)施、材料全部是以g-line作為基礎(chǔ)的。Gjalt Smit希望大家開發(fā)一臺光刻機(jī)，在1985年的Semicon West展會上展示。大家心想：你丫的瘋了嗎？只給6個(gè)月開發(fā)新機(jī)器，怎么可能？

大家討價(jià)還價(jià)，Gjalt Smit不愿意妥協(xié)，截止日期不能變，必須在預(yù)定時(shí)間內(nèi)開發(fā)出PSA 2500。當(dāng)時(shí)Martin van den Brink也參加了會議，他是一名新手（現(xiàn)在是ASML CTO）。Brink 2015年8月回憶說：“當(dāng)時(shí)Gjalt Smit強(qiáng)迫我們加速前進(jìn)，剛下飛機(jī)就給出讓人為難的命令，我心想：為什么他要這樣做？現(xiàn)在回想起來，那會真是到了關(guān)鍵時(shí)刻。我們與大學(xué)生坐在一起，他們彼此不認(rèn)識，沒有一個(gè)人知道光刻機(jī)是怎么回事。現(xiàn)在回想起來恍如昨日?！?

開發(fā)軟件的Wim Hendriksen也參加了會議，他回憶道：“當(dāng)時(shí)Gjalt告訴我們說：客戶希望早一點(diǎn)交貨。作為腳踏實(shí)地的荷蘭人，我們與客戶沒什么聯(lián)系，但Gjalt與他們在溝通。所以他闖進(jìn)培訓(xùn)室，將一切推倒重來。他說：必須在1985年5月之前拿出機(jī)器，否則我們就會破產(chǎn)。那一天的培訓(xùn)以混亂結(jié)束。當(dāng)我們離開大樓時(shí)，紙文件堆了一米高。討論是有意義的，我們有一套可行的方案?！?

當(dāng)時(shí)ASML的光刻機(jī)是以油驅(qū)動(dòng)的，新方案將油換成了電。電技術(shù)已經(jīng)存在，但ASML并沒有使用。飛利浦研究實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)從概念上驗(yàn)證過引入直線電機(jī)的可能性，但沒有轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品。根據(jù)這一概念，ASML開發(fā)出PAS 2400，它相當(dāng)于過渡產(chǎn)品。從本質(zhì)上講，就是把PAS 2000光刻機(jī)與由直線電機(jī)控制的圓晶臺結(jié)合在一起。

在1985年的Semicon West展會上，AMD、Cypress、National Semiconductor表示對PAS 2400感興趣。后來AMD挑了四家公司供貨，ASML是其中之一。

這段往事告訴我們，服務(wù)客戶時(shí)，沒有必要時(shí)時(shí)刻刻追求100%完美，只要效率足夠好，有時(shí)機(jī)器有些缺點(diǎn)也是可以接受的。走過創(chuàng)業(yè)階段之后，AMSL要與競爭對手搶市場，它的宗旨就是及時(shí)為客戶提供正確的技術(shù)，制造最可靠的機(jī)器并不是最重要的。自PAS2400之后的每一代機(jī)器都是這樣的，一直到EUV?？蛻裟玫叫聶C(jī)器，有時(shí)接下來幾年都不好用，但它們還是愿意購買。為什么ASML還要生產(chǎn)呢？因?yàn)樗雮鬟_(dá)一個(gè)信號：我們?nèi)栽谘刂柖汕斑M(jìn)！

希望這個(gè)老故事能給中國的光刻機(jī)研究人員帶來參考。