集成電路生產(chǎn)線(IC production Line)是實現(xiàn)IC制造的整體環(huán)境，由凈化廠房、工藝流水線和保證系統(tǒng)(供電、純水、氣體純化和試劑組成。IC發(fā)展到VLSI后，加工特征尺寸達到亞微米級，集成度上升到106以上，從而對各道工藝環(huán)節(jié)和制造環(huán)境的顆粒和微污染控制都很嚴格，IC生產(chǎn)線把相關的工藝設備視為一個整體，在群體內實現(xiàn)高度的自動控制，井保證相應的凈化條件。硅片在群體間由機器人或機械手傳遞，整個生產(chǎn)過程實現(xiàn)了無紙化、在線質量檢測、統(tǒng)計分析以及信息的實時管理。

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