MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器。它具有體積小、質(zhì)量輕、成本低、功耗低、可靠性高、技術(shù)附加值高，適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化等特點(diǎn)。MEMS傳感器技術(shù)是指用微電子微機(jī)械加工出來(lái)的、用敏感元件如電容、壓電、壓阻、熱電耦、諧振、隧道電流等來(lái)感受轉(zhuǎn)換電信號(hào)的器件和系統(tǒng)。它包括速度、壓力、濕度、加速度、氣體、磁、光、聲、生物、化學(xué)等各種傳感器，按種類分主要有:面陣觸覺(jué)傳感器、諧振力敏感傳感器、微型加速度傳感器、真空微電子傳感器等。傳感器的發(fā)展方向是陣列化、集成化、智能化。由于傳感器是人類探索自然界的觸角，是各種自動(dòng)化裝置的神經(jīng)元，且應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，未來(lái)將備受世界各國(guó)的重視。

MEMS傳感器的主要應(yīng)用可分為：MEMS物理傳感器、MEMS化學(xué)傳感器、MEMS生物傳感器。這些MEMS傳感器中的每一個(gè)都有多種細(xì)分方法。例如，加速度計(jì)按被測(cè)質(zhì)量的運(yùn)動(dòng)方式分類，包括角振動(dòng)型和直線振動(dòng)型加速度計(jì)等，種類很多。常見(jiàn)的MEMS傳感器包括壓力傳感器、加速度傳感器、微機(jī)陀螺儀、慣性傳感器、MEMS硅麥克風(fēng)等;MEMS傳感器的品種多達(dá)數(shù)萬(wàn)種。

MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器：MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器主要有加速度計(jì)、陀螺儀、磁力計(jì)三大類，加速度計(jì)和陀螺儀可以集成為六軸慣性傳感器;磁力計(jì)和加速度計(jì)集成為電子羅盤(e-compass)，加速度計(jì)、陀螺儀和磁力計(jì)可集成為9軸傳感器。慣性傳感器(加速度計(jì)+陀螺儀)電子羅盤(磁力計(jì)+加速度計(jì))。

MEMS環(huán)境傳感器：環(huán)境傳感器可細(xì)分為氣體、溫度和濕度傳感器等。MEMS溫度傳感器可用于任何需要檢測(cè)溫度的地方。MEMS濕度傳感器在工業(yè)控制、氣象、農(nóng)業(yè)、礦山檢測(cè)等行業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用。MEMS氣體傳感器主要用于檢測(cè)目標(biāo)氣體的成分、濃度等。

MEMS生物傳感器：MEMS生物傳感器目前處于發(fā)展初期。MEMS生物傳感器是利用生物分子探測(cè)生物反應(yīng)信息的器件，被列為新世紀(jì)五大醫(yī)學(xué)檢驗(yàn)技術(shù)之一，是現(xiàn)代生物技術(shù)與微電子學(xué)、化學(xué)等多學(xué)科交叉結(jié)合的產(chǎn)物。未來(lái)MEMS生物傳感器在醫(yī)學(xué)、食品工業(yè)、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域具有廣闊發(fā)展空間。

MEMS麥克風(fēng)：MEMS麥克風(fēng)廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、汽車、醫(yī)療等領(lǐng)域。今天幾乎每部智能手機(jī)都至少使用一個(gè)MEMS麥克風(fēng)，高端智能手機(jī)甚至使用三個(gè)麥克風(fēng)來(lái)進(jìn)行語(yǔ)音捕捉、噪聲消除和改進(jìn)的語(yǔ)音識(shí)別，而iPhone6S已經(jīng)使用了四個(gè)MEMS麥克風(fēng)。 在物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代，大量的物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備也會(huì)使用MEMS麥克風(fēng)。Apple iPhone5S和5C使用兩個(gè) Knowles和一個(gè)MEMS麥克風(fēng)。

MSME壓力傳感器：壓力傳感器主要用于檢測(cè)壓力，按量程可分為低壓、中壓和高壓壓力傳感器。 MEMS壓力傳感器屬于低壓傳感器，主要檢測(cè)原理是硅電容和硅壓阻。

MEMS生物傳感器：MEMS生物傳感器目前處于開(kāi)發(fā)的早期階段，MEMS生物傳感器是一種利用生物分子檢測(cè)生物反應(yīng)信息的裝置。被列為新世紀(jì)醫(yī)學(xué)檢測(cè)五項(xiàng)技術(shù)之一。未來(lái)，MEMS生物傳感器將在醫(yī)藥、食品工業(yè)、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域擁有廣闊的發(fā)展空間。

隨著電子技術(shù)的發(fā)展，MEMS的應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越廣泛，從最早的工業(yè)和軍用航空應(yīng)用到普通民用和消費(fèi)市場(chǎng)。在智能手機(jī)上，MEMS傳感器在聲音表現(xiàn)、場(chǎng)景切換、手勢(shì)識(shí)別、方位定位、溫度/壓力/濕度傳感器等方面提供了廣泛的應(yīng)用;和車輛穩(wěn)定性控制，以提高車輛的性能;在醫(yī)療領(lǐng)域，通過(guò)MEMS傳感器的開(kāi)發(fā)，成功研制出微型胰島素注射泵，心臟搭橋移植和人工細(xì)胞組織成為實(shí)用化、實(shí)用化的治療手段; 在可穿戴應(yīng)用中，MEMS傳感器可以實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)追蹤、心率測(cè)量等。