加速度計是一種慣性傳感器，能夠測量物體的加速力。加速力就是當物體在加速過程中作用在物體上的力，就比如地球引力，也就是重力。加速力可以是個常量，比如g，也可以是變量。MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度計就是使用MEMS技術制造的加速度計。由于采用了微機電系統(tǒng)技術，使得其尺寸大大縮小，一個MEMS加速度計只有指甲蓋的幾分之一大小。MEMS加速度計具有體積小、重量輕、能耗低等優(yōu)點。

技術成熟的MEMS加速度計分為三種：壓電式、容感式、熱感式。?壓電式MEMS加速度計運用的是壓電效應，在其內部有一個剛體支撐的質量塊，有運動的情況下質量塊會產生壓力，剛體產生應變，把加速度轉變成電信號輸出。

容感式MEMS加速度計內部也存在一個質量塊，從單個單元來看，它是標準的平板電容器。加速度的變化帶動活動質量塊的移動從而改變平板電容兩極的間距和正對面積，通過測量電容變化量來計算加速度。熱感式MEMS加速度計內部沒有任何質量塊，它的中央有一個加熱體，周邊是溫度傳感器，里面是密閉的氣腔。

工作時在加熱體的作用下，氣體在內部形成一個熱氣團，熱氣團的比重和周圍的冷氣是有差異的，通過慣性熱氣團的移動形成的熱場變化讓感應器感應到加速度值。?由于壓電式MEMS加速度計內部有剛體支撐的存在，通常情況下，壓電式MEMS加速度計只能感應到“動態(tài)”加速度，而不能感應到“靜態(tài)”加速度，也就是我們所說的重力加速度。而容感式和熱感式既能感應“動態(tài)”加速度，又能感應“靜態(tài)”加速度。

MEMS加速度計通過測量由于重力引起的加速度，你可以計算出設備相對于水平面的傾斜角度。通過分析動態(tài)加速度，你可以分析出設備移動的方式?，F(xiàn)在工程師們已經想出了很多方法獲得更多的有用的信息。 MEMS加速度計可以幫助你的機器人了解它現(xiàn)在身處的環(huán)境。是在爬山?還是在走下坡，摔倒了沒有?

在無人機飛行姿態(tài)控制技術方面，MEMS傳感器還有發(fā)揮空間。結合加速度計和陀螺儀，可以計算出角度變化，確定位置和飛行姿態(tài)。 MEMS傳感器可以在各種惡劣條件下工作，同時獲得高精度輸出。 MEMS加速度計和陀螺儀在無人機上的應用可以說是大放異彩。然而，一些挑戰(zhàn)使無人機系統(tǒng)設計復雜化，例如未完美校準的電機、可能因有效載荷而變化的系統(tǒng)動態(tài)、操作條件的突然變化或傳感器錯誤。這些挑戰(zhàn)可能導致定位處理出現(xiàn)偏差，并最終導致導航過程中的位置偏差，甚至無人機故障。高質量的 MEMS 傳感器和先進的軟件對于工業(yè)無人機超越玩具至關重要。

自動駕駛技術的興起進一步推動MEMS傳感器進入汽車。雖然 GPS 接收器可以計算自己的位置和速度，但在 GPS 信號較差的地方(地下車庫、隧道)以及信號干擾時，汽車的導航會受到影響，這是自動駕駛的致命缺陷。使用MEMS陀螺儀和加速度計獲取速度和位置(角速度和角位置)，將車輛的任何細微運動和傾斜姿態(tài)轉換為數(shù)字信號并通過總線傳輸?shù)杰囕d計算機。即使在最快的車速下，MEMS 的精度和響應速度也能適應。

目前手提電腦里就內置了MEMS加速度計，能夠動態(tài)的監(jiān)測出筆記本在使用中的振動，并根據(jù)這些振動數(shù)據(jù)，系統(tǒng)會智能的選擇關閉硬盤還是讓其繼續(xù)運行，這樣可以最大程度的保護由于振動，比如顛簸的工作環(huán)境，或者不小心摔了電腦所造成的硬盤損害，最大程度地保護里面的數(shù)據(jù)。目前在一些先進的移動硬盤上也使用了這項技術。 另外一個用處就是在目前的數(shù)碼相機和攝像機里，用MEMS加速度計來檢測拍攝時候的手部的振動，并根據(jù)這些振動，自動調節(jié)相機的聚焦。

MEMS加速度計還可以用來分析發(fā)動機的振動。汽車防撞氣囊的啟動也可以由MEMS加速度計控制。 由此可見MEMS加速度計可以在我們的生活中發(fā)揮重要作用。歸納其應用主要有以下幾個方面：振動檢測、姿態(tài)控制、安防報警、消費應用、動作識別、狀態(tài)記錄等。