安集科技獲"IC創(chuàng)新獎"成果產業(yè)化獎
(全球TMT2022年7月11日訊)7月9日,由中國集成電路創(chuàng)新聯盟(簡稱"大聯盟")主辦的"2022集成電路產業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展交流會暨中國集成電路創(chuàng)新聯盟大會"以現場加網絡視頻連線全國的方式舉行。 會上舉行了"集成電路產業(yè)技術創(chuàng)新獎"(簡稱"IC創(chuàng)新獎")頒獎典禮。安集科技"銅和銅阻擋層拋光液在130nm-14nm邏輯制程的產業(yè)化"獲得"IC創(chuàng)新獎-成果產業(yè)化獎"。

安集科技擁有一系列具有自主知識產權的核心技術,核心技術權屬清晰,技術水平國際先進或國內領先,成熟并廣泛應用于公司產品的批量生產中。核心技術的應用主要體現在產品配方和生產工藝流程兩個方面。包括金屬表面氧化(催化)技術、金屬表面腐蝕抑制技術、拋光速率調節(jié)技術、化學機械拋光晶圓表面形貌控制技術、光阻清洗中金屬防腐蝕技術、化學機械拋光后表面清洗技術、光刻膠殘留物去除技術、選擇性刻蝕技術、電子級添加劑純化技術、磨料制備技術等。