三星:與7nm制造工藝相比,3nm GAA技術(shù)的邏輯面積效率提高了45%以上,功耗降低50%
半導(dǎo)體工藝發(fā)展是一個永恒的話題。從摩爾定律誕生之后,半導(dǎo)體產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展、性能的進(jìn)步和普及速度的快慢,最終幾乎都和工藝相關(guān)。沒有好的工藝,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)幾乎無法快速前行。不過,近期隨著工藝快速進(jìn)步,技術(shù)難度越來越大,人們發(fā)現(xiàn)傳統(tǒng)的工藝技術(shù)已經(jīng)無法滿足7nm以下的制程了。好在科學(xué)家們通過努力研發(fā),在FinFET之后,又帶來了全新的GAA工藝,希望延續(xù)現(xiàn)有半導(dǎo)體技術(shù)路線的壽命,進(jìn)一步推進(jìn)產(chǎn)品向前發(fā)展。
據(jù)說三星3nm工藝的良率只有35%,從而嚇跑一大批客戶,包括火龍高通,之前已經(jīng)嚇跑了缺卡英偉達(dá)了。
不過,國內(nèi)芯片廠也只能羨慕了。沒辦法,3nm工藝現(xiàn)在只有臺積電,和三星才有。也只有它們才能幫別人代工,其它芯片廠沒這個實力。光刻機問題一天不解決,國產(chǎn)芯片就很難騰飛,被技術(shù)卡脖子是很無奈的事。
只能說,落后就要挨打,不論放在哪個行業(yè),都是一樣的。千萬不要相信,對手是仁慈的,是善良的,是無私的。更不要相信,造不如買,造不如租這種夢話。
半導(dǎo)體工藝制程在進(jìn)入32nm以下的節(jié)點后,每一步都?xì)v盡艱辛。在如此小的尺度上,人們習(xí)以為常的傳統(tǒng)物理定律都會逐漸失去效果,量子效應(yīng)逐漸成為制程前進(jìn)的攔路虎。為此,科學(xué)家和工程師們在過去的數(shù)年間發(fā)明了各種各樣的增強技術(shù)來對抗繼續(xù)微縮尺度所帶來的不確定性。包括High-K、特種金屬、SOI、FinFET、EUV等技術(shù)紛至沓來,終于將半導(dǎo)體工藝的典型尺寸推進(jìn)至7nm時代、甚至5nm時代。但是如果要進(jìn)一步向更小尺寸的工藝節(jié)點前行的話,人們又遇到了更多的麻煩。
現(xiàn)有半導(dǎo)體制造的主流工藝往往采用“鰭片晶體管”也就是FinFET技術(shù)進(jìn)行,它成功地延續(xù)了22nm以下數(shù)代半導(dǎo)體工藝的發(fā)展。從技術(shù)發(fā)展角度來看,平面晶體管在尺寸縮小至22nm后,漏電流控制將變得很困難。這是因為勢壘隧道效應(yīng)導(dǎo)致了電流泄露。
所謂勢壘隧道效應(yīng),是指雖然源極和漏極被絕緣的物體隔開無法導(dǎo)通,但是在絕緣層越來越薄之后,源極和漏極之間的距離也越來越近,最終兩者過于靠近,稍微施加電壓就會使得電子以概率的方式穿透絕緣層到達(dá)另外一端,這就帶來了漏電流和功耗問題。解決問題的方法就是FinFET,也就是將漏極和源極“立起來”,柵極再垂直構(gòu)造,形成了經(jīng)典的FinFET“鰭片”結(jié)構(gòu)。這種經(jīng)典的結(jié)構(gòu)不但在很大程度上增厚了絕緣層、解決了平面晶體管的隧道效應(yīng),還為柵極帶來了更多有效的接觸面,使得電流阻礙降低,發(fā)熱也隨之下降。
三星電子半導(dǎo)體業(yè)務(wù)曾因芯片良率“造假”引發(fā)外界關(guān)注。據(jù)韓國媒體報道,2月末,三星高管可能在試產(chǎn)階段捏造了其5nm以下工藝的芯片良率,以抬高三星代工業(yè)務(wù)的競爭力。隨后,三星啟動了對原本計劃擴(kuò)大產(chǎn)能和保證良率的資金下落的調(diào)查,進(jìn)一步了解半導(dǎo)體代工廠產(chǎn)量和良率情況。
據(jù)當(dāng)時一位熟悉三星電子內(nèi)部情況的官員對外透露,“由于晶圓代工廠交付的數(shù)量難以滿足代工訂單需求,公司對非內(nèi)存工藝的良率表示懷疑,事實上基于該良率是可以滿足訂單交付的?!绷碛袠I(yè)內(nèi)人士透露,在三星為高通生產(chǎn)的驍龍4nm制程芯片中,良品率僅為35%,并且三星自研的4nm制程SoC獵戶座2200的良率更低。以致于高通這樣的VIP客戶都要出走,重新使用臺積電生產(chǎn)驍龍8處理器。
不過從技術(shù)上來說,三星現(xiàn)在依然是唯一能緊追臺積電的晶圓代工廠,雖然在7nm、5nm及4nm節(jié)點上落后了一些,但在接下來的3nm節(jié)點三星更激進(jìn),要全球首發(fā)GAA晶體管工藝(Gate-all-around),放棄FinFET晶體管技術(shù),而臺積電的3nm工藝依然會基于FinFET工藝。
三星之前表示,GAA是一種新型的環(huán)繞柵極晶體管,通過使用納米片設(shè)備制造出了MBCFET(Multi-Bridge-Channel FET,多橋-通道場效應(yīng)管),該技術(shù)可以顯著增強晶體管性能,主要取代FinFET晶體管技術(shù)。
根據(jù)三星的說法,與7nm制造工藝相比,3nm GAA技術(shù)的邏輯面積效率提高了45%以上,功耗降低了50%,性能提高了約35%,紙面參數(shù)上來說卻是要優(yōu)于臺積電3nm FinFET工藝。
GAA 是一種新型的環(huán)繞柵極晶體管,利用 GAA 結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)更好的柵控能力和漏電控制,同時由于生產(chǎn)技術(shù)與 FinFET 基本相差無幾,在成本控制上也會有優(yōu)勢,這也是為何三星急于研發(fā) GAA 而幾乎放棄對 FinFET 晶體管工藝進(jìn)行優(yōu)化。
根據(jù)報道,三星已經(jīng)做好在韓國平澤市的P3工廠開工建設(shè) 3nm 晶圓廠的準(zhǔn)備,預(yù)計今年6、7月份動工,并同時導(dǎo)入設(shè)備。按照這個進(jìn)度,最快明年我們就能看到采用 3nm 工藝的新芯片量產(chǎn),屆時也將會是三星與臺積電新一輪的正面交鋒,你看好誰呢?