自從進(jìn)入21世紀(jì)以來(lái)，身為制造業(yè)大國(guó)，我國(guó)之所以會(huì)在高端科技領(lǐng)域?qū)覍颐媾R被外國(guó)卡脖子的困境。一來(lái)是因?yàn)榧夹g(shù)，二來(lái)是因?yàn)樵O(shè)備。而其中，設(shè)備上被卡脖子對(duì)于我國(guó)而言影響似乎更大。就比如高端芯片，我國(guó)要是能實(shí)現(xiàn)EUV光刻機(jī)的使用自由，早就在芯片史上留下濃墨重彩的一頁(yè)。最近，經(jīng)過(guò)不懈的努力，我國(guó)企業(yè)終于拿下了能夠生產(chǎn)氮化鎵半導(dǎo)體材料的阿斯麥爾光刻機(jī)。那么，氮化鎵對(duì)于我國(guó)而言究竟有多重要?作為生產(chǎn)芯片的重要材料，我國(guó)成功破局，真有希望打破外國(guó)芯片封鎖?

12月8日，我國(guó)專門研發(fā)生產(chǎn)氮化鎵芯片的企業(yè)英諾賽科公司宣布，此前建立的八英寸碳基氮化鎵量產(chǎn)線，已經(jīng)成功導(dǎo)入了阿斯麥爾的光刻機(jī)。并且還專門為這個(gè)量產(chǎn)線舉辦了一個(gè)盛大的慶典。說(shuō)起氮化鎵，可能很多人都不怎么清楚。眾所周知，目前半導(dǎo)體材料經(jīng)歷了三次的變遷，第一代半導(dǎo)體材料是硅材料，第二代半導(dǎo)體材料是砷化鎵材料，如今這個(gè)氮化鎵就是第三代材料。

而且，氮化鎵在高溫，高壓以及高電流方面，都有著極大的承受力，這也是氮化鎵比前兩代芯片更加優(yōu)越的所在。因此，這種半導(dǎo)體材料常常被用在制造高溫、高頻、大功率的元器件身上。簡(jiǎn)言之，氮化鎵其實(shí)就是生產(chǎn)新一代芯片以及各種先進(jìn)元器件一個(gè)很重要的材料。如果沒(méi)有辦法生產(chǎn)出這樣的材料，就算我們真的拿到了EUV光刻機(jī)，終究也生產(chǎn)不出性能更強(qiáng)的更先進(jìn)芯片。

EUV光刻機(jī)是ASML研發(fā)制造的，作為目前最先進(jìn)的光刻機(jī)，其也是生產(chǎn)制造7nm以下芯片的必要設(shè)備。

可以說(shuō)，EUV光刻機(jī)被制造出來(lái)后，就面臨供不應(yīng)求的情況，至今ASML還積壓了幾十億歐元的訂單。

盡管EUV光刻機(jī)很受歡迎，但ASML并不是很高興，因?yàn)樵摴饪虣C(jī)無(wú)法自由出貨，三年來(lái)，ASML一直都在爭(zhēng)取，甚至都向美發(fā)出了多次警告。

但日前，ASML還遺憾地表示，DUV光刻機(jī)正常出貨，但EUV光刻機(jī)在沒(méi)有許可的情況下，是無(wú)法自由出貨的。

ASML透露EUV光刻機(jī)暫時(shí)仍不能自由出貨后，其卻做出了一個(gè)新動(dòng)作，情況是這樣的。

近日，ASML傳來(lái)消息稱，原本計(jì)劃在2024年交付的全新一代EUV光刻機(jī)，將提前到2023年交付廠商研發(fā)、測(cè)試。

另外，ASML還透露稱，全新一代EUV光刻機(jī)大量交付的時(shí)間在2024年到2025年，而新一代EUV光刻機(jī)的售價(jià)將會(huì)超過(guò)3億美元。

對(duì)此，有外媒表示，ASML就光刻機(jī)漲價(jià)并提前交付，這意味著ASML不裝了。

當(dāng)然，ASML宣布提前交付全新一代EUV光刻機(jī)并漲價(jià)，其目的之一就是加速EUV光刻機(jī)自由出貨。

因?yàn)锳SML主要銷售DUV和EUV兩種光刻機(jī)，前者已經(jīng)正常出貨，而后者則是因?yàn)槠涫悄壳白钕冗M(jìn)的光刻機(jī)。

全新一代EUV光刻機(jī)交付后，現(xiàn)有EUV光刻機(jī)或能夠自由出貨，畢竟，全新一代EUV光刻機(jī)才是最先進(jìn)的代表，而現(xiàn)有EUV光刻機(jī)屆時(shí)就不再是最先進(jìn)的技術(shù)了。

在這種情況下，阿斯麥CEO彼得·溫寧克曾公開(kāi)表示，雖然ASML領(lǐng)先，但這只是短期內(nèi)的，十五年之內(nèi)，中國(guó)有能力掌握自己的高端光刻機(jī)，屆時(shí)ASML將不再具備優(yōu)勢(shì)，甚至ASML還可能面對(duì)退出中國(guó)市場(chǎng)的風(fēng)險(xiǎn)。

當(dāng)然，阿斯麥CEO之所這么表示，一來(lái)是對(duì)美國(guó)不合理做法的譴責(zé)，二來(lái)是他確實(shí)看到中國(guó)速度之快，ASML要做的就是積極擁抱中國(guó)市場(chǎng)。

站在旁觀者的角度來(lái)看，也確實(shí)，根據(jù)央視財(cái)經(jīng)的客觀數(shù)據(jù)，中國(guó)是連續(xù)多年以來(lái)全球最大的芯片消費(fèi)市場(chǎng)，這對(duì)上游的ASML來(lái)說(shuō)就是吸引力。

不過(guò)，在EUV光刻機(jī)方面，經(jīng)過(guò)多次爭(zhēng)取后，ASML中國(guó)區(qū)總裁沈波表示，只有DUV光刻機(jī)是可以正常銷售到國(guó)內(nèi)市場(chǎng)，但EUV光刻機(jī)還有限制。這點(diǎn)我們也感受到了，比如韓企SK海力士在無(wú)錫的工廠，近期在引入EUV光刻機(jī)時(shí)受到了美國(guó)的阻撓。

最后，筆者以為也是最重要的一點(diǎn)，ASML提示新設(shè)備可以提前體驗(yàn)，這直觀性的說(shuō)明ASML急于銷售上一代的EUV光刻機(jī)。畢竟ASML公司主要做的就是光刻機(jī)業(yè)務(wù)，其中DUV光刻機(jī)可以自由銷售，但EUV光刻機(jī)還不行。ASML計(jì)劃把新一代的EUV光刻機(jī)提前交付，這意味著現(xiàn)有的EUV光刻機(jī)就就可以向中國(guó)市場(chǎng)銷售了，因?yàn)槊绹?guó)限制的是ASML最先進(jìn)的光刻機(jī)。