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MEMS

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微機電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統(tǒng)。微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項革命性的新技術(shù)，廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，是一項關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。MEMS側(cè)重于超精密機械加工，涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機械學(xué)的各分支。常

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  • MEMS微機械加工工藝技術(shù)設(shè)計、加工、生產(chǎn)研究

    汽車在高速行駛過程中，輪胎故障是駕駛者最為擔心和最難預(yù)防的，也是突發(fā)性交通事故發(fā)生的重要原因。根據(jù)美國汽車工程師學(xué)會的調(diào)查，在美國每年有26萬起交通事故是由于輪胎氣壓低或滲漏造成的，另外，每年75%的輪胎故

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  • Memscap宣布與中國MEMS初創(chuàng)公司建立伙伴關(guān)系

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    模擬
    2012-09-04
    BSP PS MSC MEMS

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    由于微機電系統(tǒng)(MEMS)元件的開發(fā)須與制造端緊密配合，因此目前市場多由同時具備生產(chǎn)廠房的整合元件制造商(IDM)主導(dǎo)。不過，為進一步降低成本并加快產(chǎn)品上市，MEMS元件設(shè)計商委外制造的需求已逐漸增溫，促使MEMS代工商

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  • 加速度計在鐵路中的應(yīng)用

    加速度計在鐵路中的應(yīng)用特性產(chǎn)品的款應(yīng)用范圍 ±1g 至 ±200g慣性、振動和地震傳感器擴展的帶寬 (DC 至>1kHz @ -5%)出色的長期穩(wěn)定性惡劣環(huán)境（沖擊，振動，溫度）安全關(guān)鍵技術(shù)應(yīng)用介紹未來的列車系統(tǒng)將

  • 傾角傳感器在汽車防盜系統(tǒng)中的應(yīng)用

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  • 高通MEMS的Mirasol顯示屏 挑戰(zhàn)LCD

    高通MEMS技術(shù)部業(yè)務(wù)發(fā)展副總裁James Cathey肩負重任，因為他將在手機和筆記本電腦的顯示屏幕上挑戰(zhàn)已經(jīng)有69年歷史的LCD屏幕，并狙擊同一時代的OLED技術(shù)。James手中的武器是“MEMS”，一項由高通MEMS技術(shù)有

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  • 一種新穎的MEMS光開關(guān)測量平臺的設(shè)計與實現(xiàn)

    1 引言 隨著光通信技術(shù)的迅速發(fā)展，MEMS光開關(guān)由于具有插入損耗和串話小、消光比高、穩(wěn)定性好、透明性和可擴展性好、易于集成、偏振不靈敏等優(yōu)點，將成為核心光交換器件的主流。其靜電驅(qū)動是目前廣泛研究的一

  • 采用適合工藝技術(shù)制造硅MEMS振蕩器

    對MEMS振蕩器的已超過四十個年頭，然而最近才走向商用化，其中最大的一個障礙是開發(fā)一種經(jīng)濟并足夠純凈的密閉封裝系統(tǒng)。MEMS振蕩器必須密封于非常潔凈的環(huán)境，因為即使極小的表面污染物也會明顯改變振蕩頻率。另外，

  • 蘋果、三星列最大MEMS元件買家

    蘋果 (Apple)和三星電子(Samsung Electronics)繼續(xù)維持最大的消費和行動應(yīng)用微機電系統(tǒng) ( MEMS )買家地位，據(jù)IHS iSuppli統(tǒng)計，2011年蘋果和三星在消費和行動MEMS市場即占37%，主要采購元件是智慧手機用的加速度計、