西安交通大學(xué)維納儀器有限責(zé)任公司承擔(dān)的“863”MEMS領(lǐng)域重大專項課題———“面向石化等重要行業(yè)MEMS壓力傳感器制造與實用化研究”于1月底順利通過國家科技部專家組驗收。 據(jù)了解,MEMS即微電子機(jī)械系統(tǒng),集微型傳感
臺灣成功開發(fā)出了尺寸為50μm×50μm的小型壓力傳感器芯片,并在日前召開的“MEMS 2006”會議上進(jìn)行了發(fā)布。通過對壓力傳感器部分的薄膜形成手法進(jìn)行改進(jìn),實現(xiàn)了小型化。同時還使用明膠對傳感器部分進(jìn)行了封裝。這種
愛普生東洋通信公司日前開發(fā)出一種使用水晶振蕩器高精度測量壓力的傳感器產(chǎn)品“TSU”系列。配備水晶振蕩器的頻率隨壓力不同而變化,該產(chǎn)品就是利用這一原理測定壓力。新產(chǎn)品共包括4個型號,最大測量壓力從100k~1MPa
VTI公司推出了革命性的新型SCP1000系列壓力傳感器,準(zhǔn)確性高、能耗低,可用在高度計當(dāng)中。這種產(chǎn)品的測量范圍涵蓋了100 kPa 的大氣壓(SCP1000-D01)到 1600 kPa (SCP1000-D02)的深水壓。作為3D-MEMS傳感器開發(fā)的領(lǐng)先廠
介紹TPMS技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀、趨勢、市場。