2月23日消息，將微粒子作為掩模使用，蝕刻時(shí)（上）。左下方是形成了衍射光柵的4英寸SiO2晶圓。中下部是衍射光柵的截面照片。右下方是微粒子通過自組織化整齊排列的樣子。

東芝在“國(guó)際納米科技綜合展（nano tech 2009）”上展出了可大幅提高有機(jī)EL電視和有機(jī)EL照明的光提取效率的技術(shù)。該技術(shù)能夠在二氧化硅（SiO2）底板上形成名為“納米衍射光柵”的數(shù)百納米間隔圖案。

　 　有機(jī)EL照明方面一直存在如果不采用特殊方法，其光提取效率非常低，只有25％左右的問題。東芝通過將該納米衍射光柵用于有機(jī)EL元件，使光提取效率提高到了不采用時(shí)的1.6倍。衍射光柵能夠提取波長(zhǎng)與光柵間隔大致相同的光。但此前幾乎不存在能夠精確制造出與可視光波長(zhǎng)間隔相同的衍射光柵技術(shù)。

東芝通過名為“自組織化納米加工”的技術(shù)制造該衍射光柵，提高了有機(jī)EL元件的光提取效率。具體做法為，首先在SiO2底板上鋪上抗蝕劑（Resist），然后在抗蝕劑上鋪上熱塑性樹脂薄層。接下來在樹脂上將直徑僅幾百納米的SiO2微粒子溶入分散液中并使其沉淀。這時(shí)，即使不進(jìn)行特殊控制，微粒子也會(huì)由于相互間的作用力高密度且整齊地排列。東芝將其稱為“自組織化”。最后，在蒸發(fā)分散液后進(jìn)行加熱，樹脂會(huì)變軟，微粒子的最下層則會(huì)嵌入樹脂中固定住。

固定在樹脂上的微粒子在之后的蝕刻工序中將起到掩模的作用。其結(jié)果是，SiO2底板上整齊排列的衍射光柵子能夠以與微粒子尺寸基本相同的間隔成形。實(shí)際制作的衍射光柵的光柵間隔為700nm，光柵溝槽深440nm。

東芝在4英寸的SiO2晶圓上制成了該衍射光柵。將其用于2mm見方的單色有機(jī)EL元件時(shí)，全光通量比使用衍射光柵之前提高了60％。如果僅限于發(fā)光的峰值波長(zhǎng)的話，則發(fā)光強(qiáng)度增至原來的2倍左右。（編輯：曾聰）