市場研究機構Yole Developpement指出，2011年對MEMS產(chǎn)業(yè)來說，是充滿轉變的一年。除首家無晶圓廠(Fabless)陀螺儀開發(fā)商應美盛 (InvenSense)順利公開發(fā)行(IPO)，以及WiSpry射頻(RF)MEMS元件與高通光電(Qualcomm MEMS)mirasol面板成功大量商用外，全球MEMS市場產(chǎn)值也首度達到100億美元規(guī)模。展望2012年，MEMS麥克風、慣性感測器、電子羅盤與壓力計等元件產(chǎn)量仍將持續(xù)攀升，并有數(shù)種新的MEMS元件會陸續(xù)量產(chǎn)上市。預估至2016年，整體產(chǎn)值將可上看200億美元。