通常情況下，MEMS產(chǎn)品可以用與半導(dǎo)體產(chǎn)品相同或者類(lèi)似的方法來(lái)制作，半導(dǎo)體微細(xì)加工中的光刻、曝光、刻蝕、清洗等加工工藝同樣適用于MEMS產(chǎn)品制造。MEMS產(chǎn)品可以在Fabless或者系統(tǒng)整機(jī)生產(chǎn)廠(chǎng)家中設(shè)計(jì)好后，委托給集成電路Foundry工廠(chǎng)來(lái)制作。但加工工藝和產(chǎn)品測(cè)試方法等又稍不同于IC制造，從而形成了半導(dǎo)體微細(xì)加工的一個(gè)新領(lǐng)域。
MEMS在電子產(chǎn)品中所起的作用與IC既密切相關(guān)又有明確而不同的分工。IC相當(dāng)于人的大腦，其工作的主要對(duì)象是數(shù)據(jù)和信息，通過(guò)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析、計(jì)算和處理，將處理結(jié)果通知給機(jī)器中的其他執(zhí)行功能部件來(lái)執(zhí)行;而MEMS的作用相當(dāng)于人的四肢，其主要功能有兩種：一是及時(shí)反映運(yùn)行中的機(jī)器狀態(tài)，將這種狀態(tài)轉(zhuǎn)變成電信號(hào)，及時(shí)傳遞給IC來(lái)處理;二是接受和執(zhí)行來(lái)自IC的數(shù)據(jù)指令，實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)器系統(tǒng)的運(yùn)行控制。
IC與MEMS二者緊密配合，實(shí)現(xiàn)現(xiàn)代智能化電子產(chǎn)品的閉環(huán)運(yùn)行。沒(méi)有MEMS無(wú)法響應(yīng)和執(zhí)行IC的具體指令，機(jī)器將成為“無(wú)感覺(jué)和無(wú)行為能力”的機(jī)器;而沒(méi)有IC，機(jī)器將成為“沒(méi)有頭腦”的非智能化傳統(tǒng)機(jī)械。
作為MEMS第一類(lèi)功能的產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)，其作用相當(dāng)于人的五官感知功能，用于將自然界中的物理量轉(zhuǎn)變?yōu)榭晒╇娔X處理的信息數(shù)據(jù)。如MEMS麥克風(fēng)、全硅振蕩器、MEMS陀螺儀等。其中應(yīng)用最廣最多的是MEMS傳感器，一切自然界中的力、電、磁、化學(xué)成份、重量、聲音、光、氣味、運(yùn)動(dòng)(速度、位置和方向的改變，震動(dòng)，沖擊，傾斜，旋轉(zhuǎn))、圖形圖象識(shí)別等，都是傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域，而MEMS工藝則使以往的普通工藝制造的傳感器能耗和體積更加縮小、靈敏度和性能進(jìn)一步提高、生產(chǎn)成本大幅度下降，并實(shí)現(xiàn)了許多以往無(wú)法實(shí)現(xiàn)的功能。
例如：一種用MEMS工藝制作的將在醫(yī)學(xué)和基因研究中起重要作用的傳感器，可以精確稱(chēng)量細(xì)胞的重量，實(shí)現(xiàn)了醫(yī)療儀器的重大突破;而MEMS陀螺儀因成本大幅下降而得以在普通消費(fèi)電子產(chǎn)品中獲得應(yīng)用，使手機(jī)等終端產(chǎn)品有了方向和狀態(tài)的感知功能，從而實(shí)現(xiàn)了閱讀時(shí)顯示屏幕縱橫之間的自動(dòng)切換;汽車(chē)應(yīng)用中安全氣囊的MEMS慣性感測(cè)器、MEMS加速計(jì)等MEMS傳感器種類(lèi)多達(dá)數(shù)十種。
MEMS第二類(lèi)功能的產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)，其作用相當(dāng)于人的四肢。是接受和執(zhí)行來(lái)自IC的數(shù)據(jù)指令，實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)器系統(tǒng)的自動(dòng)控制。其典型產(chǎn)品有：噴墨打印機(jī)的打印頭，新型顯示器的MEMS數(shù)字微快門(mén)，液體控制中的微流控制器、微型設(shè)備中的MEMS微型執(zhí)行器、MEMS制動(dòng)器、MEMS微型機(jī)電、微型發(fā)電機(jī)等，通信設(shè)備中的MEMS光開(kāi)關(guān)，醫(yī)療電子產(chǎn)品中的心臟起搏器、可以直接接收大腦神經(jīng)元信號(hào)的智能假肢，微型機(jī)器人中的各類(lèi)響應(yīng)部件等。
另外MEMS工藝技術(shù)還用于太陽(yáng)光伏電池制造等，特別是高通公司用MEMS工藝開(kāi)發(fā)出了被稱(chēng)為mirasol顯示技術(shù)的新型顯示器，其原理是利用光的干涉方法來(lái)測(cè)量和調(diào)節(jié)(IMOD)光的反射，來(lái)進(jìn)行信息圖像的顯示，省略了普通LCD顯示器的背光源，極大地減少了顯示器能耗，實(shí)現(xiàn)了在強(qiáng)陽(yáng)光下更清晰的圖象顯示。