MEMS傳感器的種類繁多，包括單軸、雙軸和振動(dòng)傳感器等High-g(重力加速度)加速計(jì)，以及單軸、雙軸和三軸的low-g加速計(jì)，另外有角速度陀螺儀和多重傳感器方案等。

在采購(gòu)MEMS傳感器，尤其是應(yīng)用于消費(fèi)性電子產(chǎn)品中時(shí)，MEMS傳感器的價(jià)格、體積和功耗可說是最重要的三個(gè)關(guān)鍵。在價(jià)格方面，過去MEMS傳感器多用于汽車領(lǐng)域，然而近幾年，由于技術(shù)的進(jìn)步，MEMS使用于消費(fèi)性電子產(chǎn)品已越來越常見，且由于消費(fèi)性電子產(chǎn)品，例如手機(jī)的價(jià)格敏感度極高，因此MEMS組件的價(jià)格呈現(xiàn)快速下降趨勢(shì)。以MEMS傳感器的主要種類——加速度傳感器而言，其價(jià)格已由去年的1.5到2美元一路下降至現(xiàn)今的不到1美元，降幅可見一斑。

業(yè)者指出，以現(xiàn)今的價(jià)格來看，MEMS傳感器將加速應(yīng)用于消費(fèi)性電子產(chǎn)品中，且應(yīng)用的廣度也將進(jìn)一步擴(kuò)增。另外，值得注意的是，目前手機(jī)產(chǎn)品的利潤(rùn)率仍在逐漸降低中，影響所及，MEMS傳感器組件勢(shì)必仍持續(xù)面臨降價(jià)壓力。

體積和功耗為采購(gòu)關(guān)鍵

另在功耗和體積方面，意法半導(dǎo)體新近推出的MEME傳感器便在這兩方面有所突破。意法半導(dǎo)體指出，該公司新近推出的3軸加速計(jì)LIS3DH，其功耗比市場(chǎng)現(xiàn)有的解決方案減少90%以上，工作電流消耗最低為2μA，且封裝體積縮小至3x3x1mm，適合空間和功耗均受限的應(yīng)用設(shè)計(jì)，如手機(jī)、遙控器以及游戲機(jī)等。意法半導(dǎo)體MEMS傳感器至今的累積出貨量已達(dá)7億顆，MEMS傳感器主要于該公司專有8寸晶圓廠中生產(chǎn)制造。

此外，意法半導(dǎo)體日前推出針對(duì)消費(fèi)性電子市場(chǎng)需求的L3G4200DH陀螺儀，亦是強(qiáng)調(diào)以更有效率的電源管理降低整體功耗。根據(jù)意法半導(dǎo)體指出，此內(nèi)嵌先進(jìn)電源管理功能的三軸陀螺儀，最大特色便是整合FIFO(FirstInFirstOut)內(nèi)存模塊，其最多可儲(chǔ)存96個(gè)量值，可分成32個(gè)x-、y-和z-軸數(shù)據(jù)組合。這項(xiàng)功能可使主處理器不必連續(xù)讀取傳感器的角速率數(shù)據(jù)，因此能延長(zhǎng)處理器在睡眠模式的時(shí)間，進(jìn)而大幅降低系統(tǒng)總體功耗。

針對(duì)MEMS傳感器的功耗，意法半導(dǎo)體部門副總裁暨M(jìn)EMS、傳感器和高性能模擬產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理BenedettoVigna表示：“作為消費(fèi)性電子市場(chǎng)最大的MEMS傳感器供貨商，我們持續(xù)為開發(fā)符合市場(chǎng)需求的產(chǎn)品而努力。由于消費(fèi)性電子市場(chǎng)對(duì)于功耗的要求相當(dāng)高，意法半導(dǎo)體的設(shè)計(jì)人員都在產(chǎn)品開發(fā)上融入功耗意識(shí)的設(shè)計(jì)概念，以進(jìn)一步提高芯片和系統(tǒng)的效率。也是這一原因，我們?cè)谧钚乱淮募铀俣扔?jì)和陀螺儀內(nèi)嵌了應(yīng)用層和FIFO內(nèi)存模塊。”

另外，在體積的議題上，此產(chǎn)品架構(gòu)是將傳感器與ASIC接口整合在一個(gè)4x4x1mm的超小型封裝內(nèi)，可解決現(xiàn)在和未來的消費(fèi)性電子應(yīng)用的空間限制問題。上述意法半導(dǎo)體產(chǎn)品都將于今年第三季量產(chǎn)。

再者，一如AppareoSystems嵌入式系統(tǒng)總監(jiān)RobertWeinmann所言，我們之所以選擇ADI公司的iMEMS陀螺儀，正是因?yàn)樗耆衔覀兛蛻舻男枨螅撼叽缧　⒅亓枯p且具有高性價(jià)比。由此言可知，體積為首要關(guān)鍵。

AppareoSystem是一家專業(yè)開發(fā)輕型飛行數(shù)據(jù)記錄儀和3D飛行分析軟件的公司，ADI公司則是針對(duì)AppareoSystems開發(fā)的一種新型航空器飛行安全與訓(xùn)練工具，提供一種高性能iMEMS陀螺儀技術(shù)。

對(duì)此，ADI公司MEMS和傳感器技術(shù)部門副總裁MarkMartin表示：“ALERTSVision1000系統(tǒng)最初將部署在直升機(jī)中，用以采集和分析大量飛行數(shù)據(jù)，包括慣性和位置信息，如位置和俯仰/滾動(dòng)姿態(tài)等，并且提供聲學(xué)數(shù)據(jù)和駕駛艙影像，如儀表板和飛行控制裝置等。ALERTSVision1000的成本與其他飛行數(shù)據(jù)記錄儀相比極低，重量不足300克，只需28VDC(直流電壓)電源和接地，可輕松安裝在駕駛艙中。”

另外，InvenSense推出的ITG-3200三軸MEMS陀螺儀，則是在單一硅芯片上嵌入三軸旋轉(zhuǎn)傳感器(X軸：pitch、Y軸：roll、Z軸：yaw)的整合性陀螺儀，可作為游戲與3D遙控應(yīng)用的運(yùn)動(dòng)處理技術(shù)解決方案。InvenSense表示，藉由創(chuàng)新的系統(tǒng)性整合與數(shù)字輸出設(shè)計(jì)，ITG-3200能夠滿足市場(chǎng)對(duì)于成本的需求;同時(shí)，與其他多芯片組的競(jìng)爭(zhēng)廠商相較，ITG-3200的耗電量不僅降低了50%以上，封裝尺寸(4x4x0.9mmQFN)也縮小了67%左右。ITG-3200目前已開始試樣，據(jù)InvenSense表示，該產(chǎn)品大量訂購(gòu)的單價(jià)將低于3美元。藉由InvenSense專利的Nasiri-Fabrication制程平臺(tái)，該公司目前已產(chǎn)出約1億個(gè)陀螺儀軸產(chǎn)品。