摘要： AXI（自動(dòng)X射線檢測(cè)）已經(jīng)成為檢測(cè)和評(píng)估復(fù)雜MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）和MOEMS（微光電子機(jī)械系統(tǒng)）的基本方法，并且在醫(yī)療，考古等領(lǐng)域的也有了廣泛的應(yīng)用，而穩(wěn)定可靠高效的直流高壓電源是AXI的核心組件。一般的高壓直流電源為定值輸出，它們?cè)赬射線管這樣的寬負(fù)載變化范圍下的穩(wěn)態(tài)和暫態(tài)響應(yīng)不能滿足AXI的要求?；贏XI的要求本文介紹了一種最新研制的可調(diào)高壓電源，創(chuàng)新的主電路的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)由PFC（功率因數(shù)校正）模塊、BUCK模塊、逆變電路、高頻變壓器和倍壓電路組成。電源利用變壓器的寄生參數(shù)諧振工作，利用軟開(kāi)關(guān)技術(shù)實(shí)現(xiàn)了ZCS低損耗。PFC模塊能使此電源系統(tǒng)使用與國(guó)內(nèi)和國(guó)外市場(chǎng)并且減小對(duì)電網(wǎng)的諧波污染。電源的控制電路采用基于DSP的PI調(diào)解器，并基于RS232實(shí)現(xiàn)與PC的通信從而實(shí)現(xiàn)本地控制和遠(yuǎn)程管理。 敘詞：AXI，軟開(kāi)關(guān)，PI調(diào)解器，DSP，PFC，諧振，倍壓 Abstract： AXI has been becoming the dispensable and essential method for detecting and evaluating features in complex micro-electro-mechanical (MEMS) and micro-opto-electro-mechanical (MOEMS) devices and the high-voltage DC power supply is the very important component. In general, high-voltage DC power supplies are implemented for constant value control schemes but particularly their good transient and steady-state performances can not be achieved under wide load variations involved in an X ray tube. This paper introduces a new-developed high-voltage power supply designed for an X ray generator application, which has a novel topology comprised a PFC module, a BUCK circuit and a series-parallel transformer， multiplier voltage. A constant on-time/fixed frequency control scheme inverter using the parasitic parameter of special-designed high-frequency high-voltage transformer implements ZCS. At the same time introducing the PFC module can greatly cuts down the harmonic current and adapt to various line voltage ratings even the unsteadily voltage. The control system of the power is the digital PID adjuster based on DSP.

1 引言

AXI在無(wú)損檢測(cè)領(lǐng)域，特別是檢測(cè)和評(píng)估MEMS和MOEMS設(shè)備以及像CSPs，BGA封裝檢測(cè)已經(jīng)越來(lái)越重要了。因此應(yīng)用于產(chǎn)生X射線的穩(wěn)定直流高壓電源引起了電力電子領(lǐng)域的極大興趣。但是由于X射線管的特殊伏安特性（即電壓和電流基本是獨(dú)立調(diào)節(jié)），另外X射線電源必須提供在不同X射線管電流（以下簡(jiǎn)稱管電流）的情況下的高穩(wěn)定度且可以大范圍調(diào)節(jié)的電壓，因?yàn)楦唠妷嚎梢援a(chǎn)生高強(qiáng)度的X射線，而相對(duì)低的電壓產(chǎn)生低強(qiáng)度的X射線以應(yīng)用于不同的領(lǐng)域。

因此對(duì)管電壓的控制十分重要，已經(jīng)有很多文章介紹了關(guān)于如何使電源輸出電壓達(dá)到良好的穩(wěn)態(tài)和暫態(tài)響應(yīng)。然而在過(guò)去的一些文章中可以看出，由于高頻變壓器存在的幾個(gè)嚴(yán)重的問(wèn)題：很高的變比，麻煩的高壓絕緣，特別是漏感和寄生電容的問(wèn)題會(huì)導(dǎo)致巨大的開(kāi)關(guān)損耗和snubber損耗。而漏感將使輸出產(chǎn)生不想要的電壓尖峰而損害射線管的安全和產(chǎn)生的射線穩(wěn)定度，而寄生電容將會(huì)產(chǎn)生尖峰電流從而使電壓的暫態(tài)響應(yīng)變得很糟。

本文介紹了最新研制的基于高頻變壓器的串并聯(lián)諧振高壓電源，此電源能夠?qū)崿F(xiàn)ZCS（零電流）軟開(kāi)關(guān)，并且能方便的調(diào)節(jié)輸出電壓而因?yàn)槔酶哳l變壓器的的寄生參數(shù)從而避免了尖峰電壓和電流。電源的另一個(gè)特點(diǎn)是利用倍壓電路代替?zhèn)鹘y(tǒng)的二極管整流電路，從而減少了高頻變壓器的變比和寄生參數(shù)；尤其是主電路的控制策略——BUCK電路和逆變電路的聯(lián)合——用BUCK可以十分方便靈活的調(diào)壓而用定頻定寬的逆變電路可以利用高頻變壓器的寄生參數(shù)實(shí)現(xiàn)諧振軟開(kāi)關(guān)，并且由于不使用調(diào)節(jié)逆變電路的占空比來(lái)調(diào)壓從而可以充分利用高頻變壓器的磁性。電源的控制電路采用基于DSP的實(shí)時(shí)數(shù)字PI調(diào)解器實(shí)現(xiàn)電路的穩(wěn)態(tài)和暫態(tài)特性。

2 電源系統(tǒng)介紹

2.1 電路拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)

圖1為高壓直流電源示意圖，主要有幾個(gè)模塊：EMI（抗干擾）模塊，PFC模塊，BUCK模塊，逆變模塊，諧振變壓器模塊，倍壓電路模塊以及一個(gè)諧振補(bǔ)償電容。諧振補(bǔ)償電容可以用來(lái)調(diào)節(jié)諧振頻率；諧振變壓器是特別繞制的；圖上高壓電纜可以作為平波電容，燈管的燈絲電流由另外一個(gè)燈絲電路控制?？刂葡到y(tǒng)是一個(gè)基于TMS320LF2407的PI調(diào)節(jié)器，并且實(shí)現(xiàn)過(guò)壓、過(guò)流、過(guò)溫保護(hù)，以及通信功能。

圖1 高壓直流電源示意圖

2.2 調(diào)壓策略

從文獻(xiàn)中，我們知道有幾種調(diào)節(jié)X射線管兩端電壓的方式如下圖：

圖2 幾種調(diào)壓方式的比較

第一種方法是調(diào)節(jié)SCR（晶閘管）的觸發(fā)角從而調(diào)節(jié)整流后的直流基壓從而實(shí)現(xiàn)調(diào)壓。這樣的調(diào)壓得缺點(diǎn)很明顯，它將給電網(wǎng)產(chǎn)生很大的諧波電流，并且由于晶閘管的控制比較復(fù)雜，從而使控制電路實(shí)現(xiàn)起來(lái)比較麻煩；第二種方法是移相調(diào)壓，從本質(zhì)上講就是通過(guò)改變逆變輸出的基波電壓幅值來(lái)調(diào)壓，這樣調(diào)壓有兩個(gè)缺點(diǎn)：首先這樣將使后面的變壓器在占空比很小的時(shí)候的利用率變??；其次在低壓大電流的情況下對(duì)逆變電路的開(kāi)關(guān)管損害很大，損耗很大；并且高頻煩擾多；第三種方式是最新研發(fā)的電源所采取的調(diào)壓方式，首先由于PFC的使電路的功率因數(shù)接近1從而大大減小了對(duì)電網(wǎng)的諧波污染；其次用改變BUCK電路的占空比來(lái)調(diào)壓十分簡(jiǎn)單易于實(shí)現(xiàn)；同時(shí)由于逆變電路可以定頻定寬所以對(duì)實(shí)現(xiàn)軟開(kāi)關(guān)提供很好的條件，并且能充分利用高頻變壓器，也避免了在低壓大電流情況下對(duì)逆變電路的損害；

2.3 倍壓電路

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展，超高頻二極管和高頻電容已經(jīng)很成熟，而這兩者對(duì)倍壓的電路的應(yīng)用和發(fā)展提供了后盾。最常見(jiàn)的倍壓電路時(shí)半波電容二極管倍壓電路如圖3所示。倍壓電路是基于CW電路的，其他的倍壓電路都是基于CW電路發(fā)展起來(lái)的如圖4所示，而奇數(shù)和偶數(shù)倍的電壓只需找好合適的參考地即可。要得到負(fù)電壓只需把二極管反相即可。倍壓的基本原理如下所述：

圖3 半波電容二極管倍壓電路

圖 4　各種CW電路

表1的內(nèi)容是各種CW倍壓電路的跌落電壓 和紋波電壓 。如表一所示，跌落電壓 和紋波電壓 與輸入頻率 f 有直接關(guān)系；低的開(kāi)關(guān)管頻率將長(zhǎng)生交大的跌落電壓 和紋波電壓 ，相反高的輸入頻率會(huì)減小跌落電壓 和紋波電壓 。因此引入高頻諧振逆變器能改善射線電源的控制特性。

表1 各種倍壓電路的跌落電壓 和紋波電壓 比較

3 串并聯(lián)諧振電路工作原理和軟開(kāi)關(guān)

這個(gè)變換器的等效電路如圖5所示。串并聯(lián)諧振電路有兩種工作模式：電流斷續(xù)工作模式（DCM）和電流連續(xù)工作模式（ＣＣＭ）。在DCM模式中,電感電流有一段時(shí)間為零,這種工作模式發(fā)生在輸入諧振電路輸入電壓頻率Fs小于固有的頻率Fr的一半( ) ；CCM模式中發(fā)生在 。

圖6 所示為逆變電路的控制信號(hào)和諧振電路的仿真波形。由于逆變電路的半個(gè)周期大于諧振周期（ ），流過(guò)漏感的電流波形如圖所示6-a，無(wú)論在開(kāi)關(guān)器件S1，S2，S3，S4還是二極管D1 D2 D3 D4的開(kāi)通和關(guān)斷都是實(shí)現(xiàn)了零電流；當(dāng) 時(shí)，同樣的如圖6-b所示，這時(shí)開(kāi)關(guān)器件可以實(shí)現(xiàn)零電流關(guān)斷，但有一定的開(kāi)通電流；而反向二極管也是零電流關(guān)斷但有開(kāi)通電流。

從圖中可以看出，只要能我們能找到電路的固有諧振頻率或者通過(guò)外在加入合適的電感電容從而把開(kāi)關(guān)的頻率控制在諧振頻率的一半以下，這樣既可以降低開(kāi)關(guān)頻率，又能實(shí)現(xiàn)零電流從而大大減小開(kāi)關(guān)損耗。

4 試驗(yàn)和討論

試驗(yàn)系統(tǒng)的參數(shù)如下：

輸入電壓： 220V AC

輸出電壓： 0-160KV DC可調(diào)

輸出電流： 0-1.2mA　可調(diào)

高頻高壓變壓匝比為：22.5：720

逆變開(kāi)關(guān)頻率： 16.7KHZ

諧振的頻率隨著外加電容的變化而變化；

如試驗(yàn)結(jié)果所示，基本上符合理論和仿真的仿真結(jié)果。

5 結(jié)論：

文章介紹的用于產(chǎn)生X射線的串并聯(lián)變壓器諧振高壓直流電源，采用了倍壓電路減小了變壓器的變比，從而工藝和制造上可行，并且能夠在一定條件下，實(shí)現(xiàn)零電流軟開(kāi)關(guān)大大減小了開(kāi)關(guān)損耗；另為這個(gè)拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)是創(chuàng)新型的，由于PFC的引入使得對(duì)電網(wǎng)的諧波污染大大減小，同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)在國(guó)內(nèi)外110V，220V不同電壓下工作開(kāi)拓了國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)；值得注意的是這樣的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)控制簡(jiǎn)單，這個(gè)電源還利用了DSP實(shí)現(xiàn)數(shù)字PID實(shí)時(shí)控制使其能良好工作和實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程通信。

6 參考文獻(xiàn)

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