隨著半導(dǎo)體工藝進(jìn)入到5nm節(jié)點(diǎn)以內(nèi)，對(duì)EUV光刻機(jī)的需求也不斷增長(zhǎng)，目前全球只有ASML一家公司能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)，今年的出貨量還會(huì)進(jìn)一步提升。

當(dāng)然，EUV這樣的光刻機(jī)主要用于先進(jìn)工藝，所以全球有需求也有能力購(gòu)買EUV光刻機(jī)的芯片制造商也不多，ASML CEO日前在采訪中提到他們?cè)谌蛴?家EUV光刻機(jī)客戶。

雖然沒(méi)有提到具體的名單，但是臺(tái)積電、三星、Intel這三家是沒(méi)跑的，他們的邏輯工藝現(xiàn)在都是要用到EUV光刻機(jī)的。

還有2家應(yīng)該是內(nèi)存芯片廠商了，三星這部分已經(jīng)在14nm DRAM內(nèi)存上使用EUV光刻了，SK海力士也跟進(jìn)了，美光之前的表態(tài)相對(duì)保守一些，但遲早也會(huì)上EUV光刻機(jī)來(lái)生產(chǎn)內(nèi)存芯片。

雖然只有5家客戶，但是最近幾年對(duì)EUV光刻機(jī)的需求提升很快，ASML預(yù)計(jì)今年會(huì)出貨60臺(tái)EUV光刻機(jī)，而DUV光刻機(jī)達(dá)到375臺(tái)，數(shù)量依然遠(yuǎn)高于EUV。

畢竟EUV光刻機(jī)售價(jià)昂貴，單價(jià)在1.5到2億美元，人民幣超過(guò)10億元。