據(jù)業(yè)內(nèi)信息，昨天路維光電調(diào)研信息顯示已經(jīng)實現(xiàn)250nm制程節(jié)點半導(dǎo)體掩膜版的量產(chǎn)，路維光電是國產(chǎn)掩膜版行業(yè)的領(lǐng)頭羊，是目前國內(nèi)唯一可覆蓋G2.5-G11全世代產(chǎn)線的本土掩膜版企業(yè)。

路維光電的全稱是深圳市路維光電股份有限公司，是總部在深圳市南山科技園的一家高科技技術(shù)密集型國家級高新技術(shù)企業(yè)，主要業(yè)務(wù)是各類掩膜產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)，在中國掩膜版行業(yè)擁有多年的技術(shù)與經(jīng)驗，是國內(nèi)唯一一家可覆蓋G2.5-G11全世代產(chǎn)線的本土掩膜版企業(yè)。

掩膜版產(chǎn)品主要用于平板顯示、半導(dǎo)體、觸控和電路板等行業(yè)，是下游微電子制造過程中轉(zhuǎn)移圖形的基準(zhǔn)和藍(lán)本，目前實現(xiàn)了250nm制程節(jié)點半導(dǎo)體掩膜版量產(chǎn)，并掌握了180nm/150nm節(jié)點半導(dǎo)體掩版制造核心技術(shù)，滿足先進半導(dǎo)體芯片封裝和器件等應(yīng)用需求。

其主要的客戶有通富微電、士蘭微、晶方科技、華天科技、三安光電、光迅科技等公司目前引以為傲的G11掩膜版產(chǎn)品相關(guān)技術(shù)指標(biāo)已達(dá)國際先進水平，CD精度可控制在0.1μm以內(nèi)，總長及位置精度可控制在0.5μm以內(nèi)。

根據(jù)相關(guān)的資料顯示，路維光電截至目前已經(jīng)申請的專利已經(jīng)超過110件，其中占比超過三成的發(fā)明專利近40件，其專利的主要方向在掩膜版、涂膠機、光學(xué)膜、光刻膠等領(lǐng)域。